[发明专利]用于缺陷检测的方法及系统

权利要求书

1. 一种用于缺陷检测的方法，该方法包括：

检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素；其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到；

搜索第二图像的第三像素，从而第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似；

检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素；以及

将测试像素与第四像素进行比较。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

检索与第一图像的第五像素相对应的第二图像的第六像素；

搜索第一图像的第七像素，从而第七像素的邻域与第六像素的邻域相类似；

检索与第七像素相对应的第二图像的第八像素；以及

将第五像素的邻域与第八像素的邻域进行比较。

3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，不同的获得方法包括透射获得方法和反射获得方法。

4. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，寻找的步骤包括找到第三像素，从而第三像素的邻域为与第二像素的邻域的接近最相邻的邻域。

5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第二像素的邻域包括M个元素并且其中找到第三像素的步骤包括利用第二像素的邻域的N维表示；其中M＞N。

6. 根据权利要求5所述的方法，其特征在于，寻找的步骤包括为了生成第二像素的邻域的N维表示，应用主成分分析。

7. 根据权利要求5所述的方法，其特征在于，寻找的步骤包括搜索N维KD-树。

8. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括响应缺陷检测方法的资源消耗水平和缺陷检测方法的适用性，选择缺陷检测方法。

9. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第二像素的邻域包括多个低分辨率像素和多个高分辨率像素；其中多个高分辨率像素表示邻域的一部分。

10. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在比较第四与测试像素之前，执行子像素寄存。

11. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，接收请求的步骤通过以下步骤执行：在第一图像和第二图像中选择像素；以及生成所选像素的邻域的表示。

12. 一种用于缺陷检测的系统，该系统包括：存储器单元，其适于存储表示目标的第一图像和目标的第二图像中像素的邻域的信息；以及处理器，其与存储器单元连接，该处理器适于：检索与目标的第一图像的测试像素相对应的第二图像的第二像素；其中第一和第二图像使用不同的获得方法得到；搜索第二图像的第三像素，从而使得第二像素的邻域与第三像素的邻域相类似；检索与第三像素相对应的第一图像的第四像素；以及将测试像素与第四像素进行比较。

13. 根据权利要求12所述的系统，其特征在于，处理器适于：

检索与第一图像的第五像素相对应的第二图像的第六像素；

搜索第一图像的第七像素，从而第七像素的邻域与第六像素的邻域相类似；

检索与第七像素相对应的第二图像的第八像素；以及

将第五像素的邻域与第八像素的邻域进行比较。

14. 根据权利要求12所述的系统，其特征在于，不同的获得方法包括透射获得方法和反射获得方法。

15. 根据权利要求12所述的系统，其特征在于，处理器适于：找到第三像素，从而第三像素的邻域为与第二像素的邻域的接近最相邻的邻域。

16. 根据权利要求12所述的系统，其特征在于，第二像素的邻域包括M个元素并且其中处理器适于利用第二像素的邻域的N维表示；其中M＞N。

17. 根据权利要求16所述的系统，其特征在于，处理器适于为了生成第二像素的邻域的N维表示，而应用主成分分析。

18. 根据权利要求16所述的系统，其特征在于，处理器适于搜索N维KD-树。

19. 根据权利要求12所述的系统，其特征在于，处理器适于响应缺陷检测方法的资源消耗水平和缺陷检测方法的适用性，选择缺陷检测方法。