[发明专利]瓶身锁定装置以及液体管理系统及其方法有效
申请号: | 200710143785.8 | 申请日: | 2007-08-06 |
公开(公告)号: | CN101364092A | 公开(公告)日: | 2009-02-11 |
发明(设计)人: | 陈彦良;苏裕翔;谢寿镛 | 申请(专利权)人: | 力晶半导体股份有限公司 |
主分类号: | G05B19/04 | 分类号: | G05B19/04;H01L21/00;G03F7/16 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 锁定 装置 以及 液体 管理 系统 及其 方法 | ||
1.一种液体管理系统,适于配置在使用液体瓶的工艺设备中,包括:
主机,该主机中建立有液体数据库;
数据读取工具,连接至该主机,该数据读取工具是用来读取该液体瓶的数据;
系统控制器,连接至该主机;以及
瓶身锁定装置,连接至该系统控制器,该瓶身锁定装置配置于该液体瓶上,该瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件,其中该主机接收该数据读取工具传送的该液体瓶的数据,并将该液体瓶的数据与该液体数据库做比对,该系统控制器会根据该主机传送的信号驱动该瓶身锁定装置,当该瓶身锁定装置处于锁定状态时,该卡掣件固定于该液体瓶的扣环,当该瓶身锁定装置处于解除状态时,该卡掣件释放该液体瓶的扣环。
2.如权利要求1所述的液体管理系统,其中该卡掣件包括凹陷部。
3.如权利要求2所述的液体管理系统,其中当该瓶身锁定装置处于该锁定状态时,该凹陷部卡合于该液体瓶的扣环。
4.如权利要求1所述的液体管理系统,还包括液位感应器,连接至该主机,用以侦测该液体瓶内的液体位置。
5.如权利要求1所述的液体管理系统,其中该数据读取工具包括条码扫描器。
6.如权利要求1所述的液体管理系统,其中该系统控制器包括流体供给装置,用以推移该卡掣件。
7.如权利要求6所述的液体管理系统,其中该流体供给装置包括气压供给装置。
8.如权利要求7所述的液体管理系统,其中该气压供给装置的驱动压力介于1kg/cm2至7kg/cm2。
9.如权利要求7所述的液体管理系统,其中该卡掣件的最大出力为6.78kg/cm2。
10.如权利要求7所述的液体管理系统,其中该卡掣件的移动速度介于50mm/sec至500mm/sec。
11.如权利要求1所述的液体管理系统,其中该工艺设备包括光致抗蚀剂涂布显影机台。
12.如权利要求11所述的液体管理系统,其中该液体瓶包括光致抗蚀剂瓶。
13.一种液体管理方法,适用于使用液体瓶的工艺设备,该液体瓶上配置有锁定状态的瓶身锁定装置,该瓶身锁定装置具有卡掣件,包括:
当需要更换该液体瓶时,取出新液体瓶,并读取该新液体瓶的数据;
比对该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据是否相符;
当该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据相符时,驱动该瓶身锁定装置切换至解除状态,从而卡掣件释放该液体瓶的扣环;以及
换上该新液体瓶。
14.如权利要求13所述的液体管理方法,其中读取该新液体瓶的数据包括以条码扫描器读取该新液体瓶上的条码。
15.如权利要求13所述的液体管理方法,其中当该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据不相符时,该瓶身锁定装置维持该锁定状态。
16.如权利要求13所述的液体管理系统,其中该工艺设备包括光致抗蚀剂涂布显影机台。
17.如权利要求16所述的液体管理方法,其中该液体瓶包括光致抗蚀剂瓶。
18.如权利要求17所述的液体管理方法,其中该新液体瓶包括新光致抗蚀剂瓶。
19.一种瓶身锁定装置,适用于具有扣环的液体瓶,包括:
本体;
固定部,连接于该本体的一侧,用以将该装置固定于该液体瓶上;
缸体,嵌设于该本体内,且该缸体的流体入口突出自该本体;
活塞,配置于该缸体中;
驱动杆,可滑动地配置于该缸体中,且该驱动杆的一端连接该活塞;以及
卡掣件,连接于该驱动杆的另一端,该卡掣件具有凹陷部;
其中当该活塞经由该流体入口受到流体压力时,该活塞驱使该驱动杆将该卡掣件沿着移动轴线自释放位置移动至卡合位置,以使得该凹陷部与该扣环相卡合。
20.如权利要求19所述的瓶身锁定装置,还包括弹性件,配置于该活塞与该缸体的内壁之间,用以相对于该缸体施加弹力至该活塞,以使该驱动杆将该卡掣件由该卡合位置移动至该释放位置。
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