[发明专利]瓶身锁定装置以及液体管理系统及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种工艺设备的管理系统及其方法，且特别是涉及一种液体管理系统及其方法。

背景技术

在半导体工艺中，经常会使用各种不同的液体来进行工艺。以光刻工艺为例，光致抗蚀剂涂布是将液态的光致抗蚀剂旋涂于芯片表面上，而所选用的光致抗蚀剂种类常会因工艺条件的不同而有不同的需求。

当工艺机台中的光致抗蚀剂使用完毕，通常是以手动的方式进行登记比对，并由工作者的判定来控制新光致抗蚀剂的更换补充。更进一步而言，在发现机台中某一光致抗蚀剂使用完毕后，机台会发出信号提醒工作者补充新光致抗蚀剂，使得生产线不致发生中断。接着，工作者会去领取相同的新光致抗蚀剂瓶来取代使用完的光致抗蚀剂瓶。之后，工作者会至电脑端以手动的方式消除使用完的光致抗蚀剂瓶数据，再输入新光致抗蚀剂瓶的数据并进行比对确认。然后，在机台的光致抗蚀剂柜中找出使用完的光致抗蚀剂瓶，并换上新光致抗蚀剂瓶，使机台重新运作。

在上述过程中，将新光致抗蚀剂瓶的数据与电脑中建立的数据库做比对以判断所取用的新光致抗蚀剂瓶是否正确，并不具有强制性的控管。由于光致抗蚀剂的种类繁多，且部分光致抗蚀剂的名称相近，常常容易因人为疏忽造成取用错误的情况。若是工作者未执行比对程序，或是不理会比对错误的信息即擅自更换光致抗蚀剂瓶，极有可能会发生更换错误的问题，进而影响整个产品的成品率及成本。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种液体管理系统，可有效地管理液体瓶的更换及取用。

本发明提供一种液体管理方法，能够提高比对正确性，以避免更换错误的情况发生。

本发明提供一种瓶身锁定装置，用以锁定具有扣环的液体瓶，有助于禁止工作者任意更换液体瓶。

本发明提出一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中。此系统包括主机、数据读取工具、系统控制器以及瓶身锁定装置。主机中建立有液体数据库。数据读取工具连接至主机。数据读取工具是用来读取液体瓶的数据。系统控制器连接至主机。而瓶身锁定装置连接至系统控制器。瓶身锁定装置配置于液体瓶上，其中瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件。主机会接收数据读取工具传送的液体瓶的数据，并将液体瓶的数据与液体数据库做比对。而系统控制器会根据主机传送的信号驱动瓶身锁定装置。当瓶身锁定装置处于锁定状态时，卡掣件会固定于液体瓶的扣环。当瓶身锁定装置处于解除状态时，卡掣件释放液体瓶的扣环。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件包括凹陷部。

在本发明的一实施例中，当瓶身锁定装置处于锁定状态时，凹陷部会卡合于液体瓶的扣环。

在本发明的一实施例中，还包括液位感应器，连接至主机，用以侦测液体瓶内的液体位置。

在本发明的一实施例中，上述的数据读取工具例如是条码扫描器。

在本发明的一实施例中，上述的系统控制器包括流体供给装置，用以推移卡掣件。

在本发明的一实施例中，上述的流体供给装置例如是气压供给装置。

在本发明的一实施例中，上述的气压供给装置的驱动压力介于1kg/cm²至7kg/cm²。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件的最大出力为6.78kg/cm²。

在本发明的一实施例中，上述的卡掣件的移动速度介于50mm/sec至500mm/sec。

在本发明的一实施例中，上述的工艺设备例如是光致抗蚀剂涂布显影机台。

在本发明的一实施例中，上述的液体瓶例如是光致抗蚀剂瓶。

本发明另提出一种液体管理方法，适用于使用液体瓶的工艺设备，其中液体瓶上配置有处于锁定状态的瓶身锁定装置。首先，当需要更换液体瓶时，取出新液体瓶并读取新液体瓶的数据。接着，比对新液体瓶的数据与液体瓶的数据是否相符。当新液体瓶的数据与液体瓶的数据相符时，则驱动瓶身锁定装置切换至解除状态。然后，换上新液体瓶。

在本发明的一实施例中，读取新液体瓶的数据例如是以条码扫描器读取新液体瓶上的条码。

在本发明的一实施例中，当新液体瓶的数据与液体瓶的数据不相符时，瓶身锁定装置则维持锁定状态。

在本发明的一实施例中，上述的工艺设备例如是光致抗蚀剂涂布显影机台。

在本发明的一实施例中，上述的液体瓶例如是光致抗蚀剂瓶。

在本发明的一实施例中，上述的新液体瓶例如是新光致抗蚀剂瓶。