[发明专利]半导体测试装置的测试程序生成方法无效
申请号: | 200710143845.6 | 申请日: | 2007-08-03 |
公开(公告)号: | CN101122629A | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 菅原洋 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高科技工程服务 |
主分类号: | G01R31/3183 | 分类号: | G01R31/3183;G01R31/26 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本神奈川县足*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 测试 装置 程序 生成 方法 | ||
1.一种测试程序生成方法,生成用以使半导体测试装置运作的测试程序,且所述测试程序生成方法包括如下步骤:
启动表格计算软件的步骤,其启动具备多个表格的表格计算软件,该表格是由用以输入测试条件的规定格式所构成,每一测试项目具备有表格;
从已通过所述步骤启动的所述表格计算软件的所述多个表格中,选择生成所述测试程序时所必须的表格的步骤;
将规定的设定条件输入到已通过所述步骤选择的表格的格式中的步骤;
执行所述表格计算软件的宏程序的步骤;以及
对应于所述宏程序的执行,生成用以使所述半导体测试装置运作的测试程序的步骤。
2.如权利要求1所述的测试程序生成方法,其特征在于,根据已预先准备的基本表格来创建所述多个表格。
3.如权利要求1所述的测试程序生成方法,其特征在于,使用MICROSOFTEXCEL作为所述表格计算软件。
4.如权利要求1所述的测试程序生成方法,其特征在于,通过执行所述宏程序而生成的测试程序显示在所述表格计算软件中另外的表格中。
5.如权利要求1所述的测试程序生成方法,其特征在于,所述规定格式构成的表格包括以下设定项目:
第1电源设定部及第2电源设定部,包括电源设定部、施加条件设定部、以及模式设定部,所述电源设定部输入引脚名,所述施加条件设定部以单位伏特输入电压的设定条件,所述模式设定部选择性地设定vfim或ifvm模式;
测试速率设定部,包括输入条件设定部、以及单位设定部,所述输入条件设定部输入与各速率rt1~rt6对应的值,所述单位设定部设定测试速率的单位为奈秒、微秒、毫秒;
继电器设定部,包括负载继电器编号项目的接通/断开设定部;
输入引脚电压设定部,包括输入引脚设定部、VCC标志设定部、conn设定部、fmask设定部、fmt设定部、以及iofmt设定部,所述输入引脚设定部设定引脚名,所述VCC标志设定部设定各端子的电源模式为IOVCC、VCC、VDD,所述conn设定部设定各端子的连接对象为fc、open、svi、pmu,所述fmask设定部设定故障屏蔽为dsb、enb,所述fmt设定部设定波形格式为nrz、rl、rz、fixh、fixl、sbc,所述iofmt设定部设定IO格式为input、output、nrz;
输入引脚时序设定部,包括设定第1到第6为止的各时序tt1~tt6的单位的项目;
LCD设定部,包括rng设定部、lcdrly设定部、vt伏特设定部、以及ioh微安培设定部及iol微安培设定部,所述rng设定部设定off、lv、hv作为LCD引脚的范围,所述lcdrly设定部设定LCD引脚的输出继电器的接通、断开,所述vt伏特设定部将LCD引脚的VT设定为单位伏特,所述ioh微安培设定部及iol微安培设定部将LCD引脚的电流值设定为单位微安培;
lodstrb设定部,设定与第1至第6为止的各时序tt1~tt6对应的LCD引脚的选通脉冲;
输出引脚设定部,包括LCD引脚设定部、conn设定部、fmask设定部、以及voh伏特设定部及vol伏特设定部,所述LCD引脚设定部设定以DDF文件定义的引脚名,所述conn设定部设定open、ald、pmu作为各端子的连接对象,所述fmask设定部设定dsb、enb作为故障屏蔽,所述voh伏特设定部及vol伏特设定部将电压值设定为单位伏特;
IOVCC倍率设定部,设定VIH1、VIL1、VOH1、VOL1、VT1的各DC特性中的倍率;
VCC倍率设定部,设定VIH2、VIL2、VOH2、VOL2、VT2的各DC特性中的倍率;以及
VDD设定部,设定VIH3、VIL3、VOH3、VOL3、VT3的各DC特性中的倍率。
6.如权利要求5所述的测试程序生成方法,其特征在于,所述规定格式构成的表格更包括以下设定项目:
图形设定部,包括设定测试编号的测试编号设定部、设定使用图形名的使用图形设定部、设定记述在使用图形中的开始标记的开始设定部、设定记述在使用图形中的停止标记的停止设定部、设定seq/para中的任一个作为使用图形的运行模式的运行模式设定部、以及设定与测试图形条件表对应的编号的测试图形条件设定部;
电源序列设定部,包括以单位毫秒设定sr序列时间的时间设定部、设定端子名的uvi设定部、rvi设定部、pin设定部、以及与LCD部有关的设定lcd的LCD设定部的各设定项目;
测试图形条件表,设定与各测试相应的条件内容,该条件内容包含条件编号、测试编号、图形名;以及
来历表,设定测试条件表的来历。
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