[发明专利]半导体测试装置的测试程序生成方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试程序生成方法，使用所述方法可以生成使半导体测试装置运作的测试程序(test program)，本发明尤其涉及一种半导体测试装置的测试程序生成方法，使用所述方法，即使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序。

背景技术

为了将性能及品质得到保证的半导体器件制成成品上市，而必须在制造部门、检查部门的各工序中抽取半导体器件的全部或一部分，检查其电特性。半导体测试装置如下述般检查电特性，对被测定半导体器件赋予规定的测试用图形数据，读取由此而获得的被测定半导体器件的输出数据，根据被测定半导体器件的输出数据，针对被测定半导体器件的基本运作及功能是否存在问题，解析不良信息，检查电特性。

为了进行所述检查，必须在每一种半导体器件中生成在半导体测试装置中需要执行的测试程序，而且，当半导体测试装置不同时，必须对每一种所述机型生成测试程序。通常，测试程序包含作为测试对象的半导体器件的引脚分组信息、及测试项目的处理顺序等。

作为如上所述用以生成测试程序的装置，众所周知的是如日本专利特开平10-48300号公报所示的测试程序创建方式。所述测试程序创建方式是通过输入半导体器件的个别数据，而将测试对象引脚的分组或其他半导体器件个别信息放入测试程序的表格(form)中，创建半导体器件的个别测试程序。

而且，如日本专利特开2000-187064号公报所示的测试组创建装置及其创建系统也为众所周知。所述测试组创建装置及其创建系统涉及半导体器件的测试对象引脚的分组方法，预先定义好引脚的分组条件，使之与更复杂的条件、即半导体器件复杂化且引脚数增加之类条件相对应，准确无误地短时间内创建测试组。

所述背景技术的情况存在如下问题，测试项目也与半导体器件同样变得复杂化，所述测试项目在每一个半导体器件中都不相同时，则必须在每一个半导体器件中创建测试程序，因此需要花费劳力和时间进行创建。而且，已生成的测试程序需要通过人力进行调整、更改，因此，用户必须具有关于各半导体装置的高度专业知识。进而，先前由于可以通过人力进行调整、更改，因此，在进行程序更改、修订时，可能会混入人为错误，而且，由于通过人力进行更改、修订，测试规格与测试程序的关系变得无法以1对1进行对应。为了在所述状态下使测试规格与测试程序的关系相对应，则必须从测试程序向测试规格进行反向变换，当没有反向变换的构造时，更改已生成的程序后，则将无法返回测试规格。进而，存在如下问题，即，在创建测试程序时存在个人情况差别，因此，在对他人所创建的测试程序进行实施或解析等时，则需要耗费很多时间。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测试程序生成方法，使用所述方法，即使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序，且可以容易地进行测试程序的更改、校正。

本发明的测试程序生成方法的第1特征是，所述方法是生成使半导体测试装置运作的测试程序的测试程序生成方法，在每个测试项目中具备多个包含用以输入测试条件的格式(format)的表格计算软件(spreadsheet)的表格，在生成所述测试程序时，从所述多个表格中选择规定的表格，将规定的设定条件输入到所选择的表格的格式中，执行所述表格计算软件的宏程序(macro program)，由此，生成所述规定的测试程序。

所述方法中，利用通常习惯使用的应用软件(application software)之一的表格计算软件的微程序(microprogram)，创建测试程序，由此，即使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序。而且，当进行测试程序的更改、校正时，仅对各表格的设定条件进行更改、校正即可，因此，可以容易地进行测试程序的更改、校正。

本发明的测试程序生成方法的第2特征如所述第1特征所述的测试程序生成方法，其中，根据预先已准备的基本表格来创建所述多个表格。所述方法中，根据基本表格来生成与各测试项目对应的各表格的构成，因此，仅对所述基本表格加以理解，即可容易地对其他测试项目的构成加深理解。

本发明的测试程序生成方法的第3特征如所述第1特征所述的测试程序生成方法，其中，使用MICROSOFTEXCEL作为所述表格计算软件。所述方法中，使用利用最多的MICROSOFT EXCEL作为表格计算软件。