[发明专利]基片座组件装置

权利要求书

1.一种基片座组件装置，所述基片座组件装置用于装配和拆卸某种类型的基片座，此类型的基片座包括带有锁销的基座和带有锁扣的盖，所述盖的锁扣用于与所述基座的锁销啮合，以将所述盖固定在基座上，所述基片座组件装置包括：

基片座安装座，用于支撑面朝下的所述基片座；

基片座装载支架，用于在装配和拆卸过程中支撑面朝上的所述基片座；

可在所述基片座安装座与所述基片座装载支架之间移动的提升臂，用于提起所述基片座，将其翻转，再将所述基片座置于所述基片座装载支架上；以及

由所述基片座装载支架伸出的致动装置，用于使所述基片座的基座的锁销脱离锁扣，从而使所述盖与所述基座分离，并将所述基片装载到所述基片座上或从所述基片座上卸下。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提升臂包括一个锁定爪，用于与所述基座上的锁槽相啮合，以便将所述基片座固定在所述提升臂上。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提升臂可枢转地安装在所述基片座安装座与所述基片座装载支架之间，从而所述提升臂从所述基片座安装座到所述基片座装载支架的转动可将所述基片座由面朝下翻转为面朝上。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述致动装置包括多个分隔设置于所述装载支架上的可移动致动器，用来与安装在所述基座上的多个锁销进行啮合。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述可移动致动器可径向向内做往复运动，以带动锁销向内做径向滑动，以使其与所述锁扣分离。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述基片座安装座包括多个与所述可移动致动器相对应的指示器，所述锁销与所述基片座安装座上的指示器对准，可确保所述锁销与所述装载支架上的所述可移动致动器对准。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述基片座安装座包括多个分隔的支座，每个支座提供一个指示器。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，每个所述支座均有一个斜面，用于引导所述基片座至停靠位置。

9.如权利要求1所述的装置，还包括基片座，所述基片座包括：

带有多个可往复运动的锁销的基座；以及

带有多个锁扣以便与所述锁销啮合的盖。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，每个所述锁销均有一个闭锁面，用于与相应的凸轮面结合；还有一个邻接面，用于与相应的致动器啮合。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述闭锁面与所述基座成锐角，由此所述闭锁面可以与所述凸轮面在多个位置啮合，所述啮合位置取决于基片的厚度。

12.如权利要求10所述的装置，其特征在于，还包括弹簧装置，为促使所述闭锁面与所述凸轮面的啮合提供作用力。

13.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述盖包括围绕所述基座的圆周伸出的环形法兰；且所述法兰的外部自由边缘构成带有所述凸轮面的所述锁扣。

14.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述盖的厚度在0.005至0.015英寸之间，采用电镀锡钢板制成，使得所述盖在一次或两次使用后可被更换。

15.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括一个拆卸工具，用于与所述基座上的锁槽啮合，以便在将所述基片座安装至所述基片座安装座上时将所述基片座提起。

16.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述拆卸工具包括长手柄、固定托架、滑动托架和安装在所述长手柄上的致动器；所述固定托架用于与所述锁槽的一侧啮合；所述滑动托架用于与所述锁槽的另一侧啮合；所述致动器用于启动所述滑动托架，使所述滑动托架与所述锁槽啮合或分离。