[发明专利]基片座组件装置

说明书

技术领域

[01]本发明涉及一种用于在基板上装配和拆卸基片的装置，具体而言，涉及一种具有从基板上自动锁定和自动解锁基片功能的基片座组件装置，用于镀膜机构，而所述基板包括一个可调卡环座。

背景技术

[02]常规的基片座1，如图1所示，包括通过螺钉紧固件4固定在环形盖3上的基板2。环形盖3包括一个环状肩型结构6，用于支撑抵靠在基板2上的一个或多个基片7的边缘。在基板2上有一个圆柱形凹槽8(或其他校准结构)，用于接收镀膜系统中安装机构的锥形销，从而实现匹配校准功能。

[03]然而，采用螺钉紧固件的基片座需要技术人员手动从基板装配和拆卸环形盖，因此在装配和拆卸过程中会浪费宝贵的时间。此外，手动操作基片座会增加基片座甚至基片本身损坏的风险。

[04]本发明的一个目的是克服现有技术的缺点，即提供一种自动化的基片座组件装置，所述装置不再需要螺钉紧固件，并且可以最大限度的减少与基片座的人为接触。

发明概述

[05]因此，本发明涉及一种基片座组件装置，所述基片座组件装置用于装配和拆卸某种类型的基片座，此类型的基片座包括带有锁销的基座和带有锁扣的盖，所述盖的锁扣用于与所述基座的锁销啮合，以将所述盖固定在基座上，所述基片座组件装置包括：

[06]基片座安装座，用于支撑面朝下的所述基片座；

[07]基片座装载支架，用于在装配和拆卸过程中支撑面朝上的所述基片座；

[08]可在所述基片座安装座与所述基片座装载支架之间移动的提升臂，用于提起所述基片座，将其翻转，再将所述基片座置于所述基片座装载支架上；以及

[09]由所述基片座装载支架伸出的致动装置，用于使所述基片座的基座的锁销脱离锁扣，从而使所述盖与所述基座分离，并将基片装载到所述基片座上或从所述基片座上卸下。

附图说明

[10]下文将参照表示优选实施例的附图对本发明进行更为详细的介绍，其中：

[11]图1示出了常规的基片座；

[12]图2为依据本发明的基片座的等轴测视图；

[13]图3为图2所示基片座的一个实施例的横截面图；

[14]图4为图2所示基片座的另一个实施例的横截面图；

[15]图5为依据本发明的基片座组件装置的等轴测视图；

[16]图6为图5所示基片座组件装置的侧视图；

[17]图7为图5所示基片座组件装置的等轴测视图；

[18]图8为依据本发明的基片装载/拆卸工具的等轴测视图；以及

[19]图9为图8所示基片装载/拆卸工具的横截面图。

详细说明

[20]参见图2至4，依据本发明的一种优选基片座11包括一个安装在基座13上的普通一次性盖12a(图3)或普通可重用盖(图4)，所述盖子最好完全或至少部分由可被磁闭锁吸引的材料制成，例如由铁、钴和镍中一种或多种元素组成的铁磁性材料，所述磁闭锁公布于本发明申请人的2006年4月20日公开的公布号为2006/0081468的美国专利申请中。基座13有一个带凹槽的圆柱形突起14(用于接收磁闭锁的锥形销)和一个构成环形凹槽20的环形安装圈15(将在下文中介绍)。基座13为基片16的背面提供了一个保护盖，从而可防止不必要的和多余的的背面涂层。每个盖12a和12b均包含一个或多个用于基片16的开口，并确定了围绕每个开口延伸的凸缘18。凸缘18用于将基片16的边缘固定在基座13的上表面上制出的槽19中。盖12a和12b上的开口通常为圆形，但也可以是任何形状，如方形或椭圆形，具体形状的选取取决于基片16的形状。

[21]盖12a和12b还有一个环形中间区21，用以确保基座13的上表面被盖住，从而使所述表面免于接触杂散镀膜的材料。环形法兰22从与基座13的侧壁相邻的中间区21垂直伸出，用以保护基座13的侧壁免于接触杂散镀膜材料。对于盖12a(图3)，将环形法兰22的上方和外部自由边缘23a向内弯曲并与环形法兰22的其余部分平行，形成一个锁扣或凸轮面，用来与基座13上的闭锁面31啮合。在另一种方式中，可以由盖12a垂直伸出一个或多个独立的夹头，与锁销32的闭锁面31啮合。这些夹头最好采用弹性材料制成，例如与盖12a相同的金属板，从而可以相对容易(即不借助工具)地将夹头和盖12a手动释放。为方便夹头的分离可以采用各种机械手段，包括由夹头处引出的杠杆、按钮和旋钮。