[发明专利]传送物体存放系统在审

专利信息
申请号: 200710146959.6 申请日: 2007-09-03
公开(公告)号: CN101134528A 公开(公告)日: 2008-03-05
发明(设计)人: 和田快也;椿达雄;村田正直 申请(专利权)人: 日本阿西斯特技术株式会社
主分类号: B65G1/04 分类号: B65G1/04;B65G1/137;B65G37/00;B65G35/00;H01L21/67
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 梁晓广;陆锦华
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 传送 物体 存放 系统
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种用于暂时存放或储存被传送物体的传送物体存放系统,该物体在工厂等中通过传送台车来进行传送。这里,“传送物体”是指产品、中间产品、元件、物品、工件、部分完工的货品、货品等等,或者是指用于容纳这种产品等的盒子或容器,其通过传送台车进行传送或将被传送。

背景技术

通常,在半导体制造工厂中,为了降低产品的成本和增加产品的数量,非常需要提高生产效率。作为其中的一部分,对工厂中的传送设备或者工具需要进行如下改善:(i)洁净室空间的有效利用,(ii)建设成本的降低,(iii)建设期限的缩短,和(iv)在传送设备工作之后传送时间周期的缩短。

在半导体制造工厂中,例如OHT(高架提升传送)、OHS(高架往复传送)等的传送台车系统在安装在工厂顶棚上的轨道上运行并且传送物体。

就该传送台车系统来说,已经进行了各种研究与开发。在日本专利申请公开No.Hei 10-109887中公开了一种工件传送系统(也就是物体传送系统)。这里,“工件”是指传送物体。

该工件传送系统具有顶棚运行车,其沿着安装在工厂顶棚附近的导轨运行,且通过适当地正向或反向旋转卷筒,以将皮带卷起至卷筒上或者从该卷筒上松开该皮带,来上下移动夹具装置。在这个系统中,其上放置工件的存放架部件安装在地板以上和导轨以下。

因此,因为该存放架部件安装在地板之上和导轨之下,所以这样能够获得节约工艺位置、地板等的效果,并且通过顶棚运行车能够缩短用于传递和接收该工件所需要的时间周期。

发明内容

通常,在建设时用于系统构建运转需要很长时间和大量的步骤。建设时的这些步骤中的一个步骤是为存放架上的传送台车的停止位置教导校正(也就是校正值)。

该传送台车通过通常粘合在运行轨道上的条形码来检测该停止位置。在传送台车处于教导停止位置的校正的步骤之前的情况中,传送物体的停止位置和放置位置彼此不一致。因为存在(i)在移动方向中的误差,(ii)在垂直于移动方向的方向中的误差,(iii)台车旋转方向上的误差等,并且因为传送台车之间的这种误差的幅度是不同的,所以传送台车之间的这种不一致的程度是不同的。此外,对于一个传送台车,因为存放架之间的存放架至导轨的安装条件是不同的,所以存放架之间的这种不一致的程度是不同的。在上述的日本专利申请公开出版所公开的常规技术中,对于相应的一个存放架人工地输入(也就是教导)在存放架之间不同的校正值。因为对于所有的存放架和对于所有的传送台车进行该教导工作,所以该教导工作所需要的时间周期和步骤数是庞大的。

因此本发明的一个目的是提供一种传送物体存放系统,其能够减小相对于存放架的传送台车位置的教导校正的步骤数。

本发明的上述目的能够通过一种传送物体存放系统来获得,其包括:沿导轨移动和传送每个均具有夹持部分的一个或多个物体的传送台车;具有架板的传送物体存放架;定位板,该定位板布置在架板上,在其上能够放置传送物体,该定位板具有多个凸出组,每个凸出组通过与形成在传送物体的相应的底面上的凹部组相接合而支承放置在该定位板上的相应一个传送物体;和在轨道上以预定间隔粘合的多个代码信息,所述传送台车包括(i)用于读取多个代码信息的代码信息读取装置,(ii)用于夹持该夹持部分的夹具和(iii)用于校正所述传送台车沿轨道的停止位置的校正装置,该定位板预先以预定位置布置在架板上,使得分别确定多个代码信息中的每个代码信息和凸出组中的相应的每个凸出之间的相对坐标,该传送台车根据多个代码信息中的一个而停止,使得(i)放置在一个凸出组上的传送物体的夹持部分的位置和(ii)该停止的传送台车的夹具的位置之间的误差值可以记录为所述校正装置中的校正信息,相对于该多个代码信息中的其他信息根据该记录的校正信息,所述校正装置校正该停止位置。

根据本发明的传送物体存放系统,该传送台车沿着安装在顶棚上的轨道移动,同时以例如悬吊的状态来夹持该物体。在该轨道的下面安装有传送物体可放置在其上的传送物体存放架,该传送物体存放架例如处于从顶棚悬吊的状态。多个代码信息以预定间隔粘合或者粘接在传送物体存放架上方的轨道区域上。根据粘合的代码信息,该传送台车自动移动,同时自身判断移动或者停止。

在安装该传送物体存放架的时候,安装一个或多个均具有凸出组的定位板。相对于以预定间隔粘合的相应的一个代码信息来布置每个定位板。(i)一个定位板的坐标和(ii)该传送台车的夹具的坐标之间的误差值通过该校正装置来记录,该传送台车根据相关的代码信息而停止。

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