[发明专利]真空加工设备

权利要求书

1.一种真空加工设备，包括室体和在加工过程中与该室体向上间隔开的上盖，进一步包括：

水平驱动装置，其设置在所述上盖外并且适于水平移动所述上盖；以及

关闭机构，其用于关闭及打开形成在室体和上盖之间的间隙；

其中，所述关闭机构包括密封装置，其能够接触并密封室体与上盖两者的边缘区域，并且可与所述边缘区域分离；

其中，所述室体沿其上端表面设置有向外延伸的下突起，所述上盖沿其下端表面设置有向外延伸的上突起；

所述密封装置具有用于与所述下突起紧密接触的下接触表面、和用于与所述上突起紧密接触的上接触表面，使得在所述室体的下突起及所述上盖的上突起同时与密封装置的下接触表面及上接触表面紧密接触时，所述上盖与室体的内部得以密封。

2.如权利要求1所述的设备，其中，所述密封装置在相对于室体和上盖的倾斜方向上移动，使得所述密封装置与室体和上盖接触。

3.如权利要求2所述的设备，其中，所述密封装置的下接触表面或上接触表面采用倾斜表面的形式，并且所述下突起或上突起具有对应于所述倾斜的下接触表面或上接触表面的倾斜表面。

4.如权利要求3所述的设备，其中，在所述密封装置的下接触表面或上接触表面形成至少一个辅助密封，所述辅助密封由挠性材料制成并且适于帮助密封所述上盖和所述室体的内部。

5.如权利要求3所述的设备，其中，所述密封装置设置有多个密封装置驱动单元，所述密封装置驱动单元耦连到所述密封装置以在相对于室体和上盖的倾斜方向上移动所述密封装置。

6.如权利要求5所述的设备，其中，每个所述密封装置驱动单元包括：

可旋转辊，其位于所述密封装置的下拐角中的一个拐角处；以及

凸轮，其配置成在与所述辊接触时进行旋转运动，并且适于在相对于室体和上盖的倾斜方向上移动所述密封装置。