[发明专利]更换光阻过滤器的系统与方法

权利要求书

1、一种实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于：其中该实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括：

一过滤系统，连接至一分配器，其中该过滤系统至少包括一过滤器；以及

一开关机构，用以选择性地连接该过滤系统以输通一第一化学溶液和一第二化学溶液的其中之一。

2、根据权利要求1所述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于所述的开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。

3、根据权利要求1所述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于所述的第一化学溶液至少包括光阻，该第二化学溶液至少包括可溶解该第一化学溶液的一溶剂。

4、根据权利要求1所述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于，其中在该分配器用以涂布晶圆的正常操作期间，连接该过滤系统以输通该第一化学溶液；及在更换该光阻过滤器时，连接该光阻过滤器，以同时输通该第二化学溶液。

5、一种更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中该过滤系统是连接至一分配器，该更换过滤系统的光阻过滤器的方法至少包括：

换上该光阻过滤器；

连接该过滤系统以输通一第一化学溶液，来清洗和预湿该光阻过滤器；以及

在该连接该过滤系统以输通该第一化学溶液的步骤后，连接该分配器以接收一第二化学溶液。

6、根据权利要求5所述的更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其特征在于所述的第二化学溶液是一光阻溶液，该第一化学溶液为可溶解该第二化学溶液的一溶剂。

7、根据权利要求5所述的更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其特征在于，其中连接该过滤系统以输通该第一化学溶液的步骤，和连接该分配器以接收该第二化学溶液的步骤是使用一开关机构来进行，该开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。

8、一种更换过滤系统的光阻过滤器的装置，借以有助于更换连接至一分配器的该过滤系统的该光阻过滤器，其中该更换过滤系统的光阻过滤器的装置至少包括：

一第一连接元件，用以连接该过滤系统以在更换该光阻过滤器的同时输通一第一化学溶液，其中该第一化学溶液是用以清洗和预湿该光阻过滤器；以及

一第二连接元件，用以在连接该过滤系统以输通该第一化学溶液后，连接该分配器以接收一第二化学溶液。

9、根据权利要求8所述的更换过滤系统的光阻过滤器的装置，其特征在于所述的第二化学溶液是一光阻溶液，该第一化学溶液是可溶解该第二化学溶液的一溶剂。

10、根据权利要求9所述的更换过滤系统的光阻过滤器的装置，其特征在于所述的第一连接装置和第二连接装置至少包括一开关机构，该开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。