[发明专利]更换光阻过滤器的系统与方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种更换光阻过滤器的系统与方法，特别是涉及一种可减少过滤器所诱致(Filter-Induced)的晶圆缺陷的更换光阻过滤器的系统与方法。

背景技术

在微影制程中，光阻涂布系统(Photoresist Coating System)(或涂布器(Coater))经由一或多条导管，例如输送管(Pipe)，以及过滤系统(FiltrationSystem)而与化学药品的供给作连接。此过滤系统通常包含有过滤器，其中过滤器至少包括用以滤除来自即将供应给涂布器的化学溶液，例如光阻，的粒子与其他污染物的多孔性介质。当新的过滤器安装于过滤系统时，使用化学溶液来清洗或冲洗此系统，其中此系统包含导管与过滤器本身。显然地，在化学溶液本身的价格昂贵而完成此制程需要超过两公升溶液的情况下，这是一种昂贵的制程。一种替代的选择方式是在过滤器未上线(Off-Line)时，可使用较便宜的化学溶液或溶剂来清洗或“预湿(Pre-Wet)”过滤器，再将预湿之后的过滤器安装于系统上。过滤器经安装后，则使用较昂贵的化学溶液来清洗此系统，以冲洗过滤器与输送管。

使用如同上述的光阻过滤器的优点包含降低源自于延长去光阻溶液寿命的操作成本、因光阻的载送量与停机时间的减少而可提高整体生产量、以及减少污水处理厂的需求。在一般的情况下，当需要将新的过滤器安装于机台上时，是将此过滤器安装于未上线模型(Dummy)上，并在此模型上对此过滤器进行手动预湿。在完成预湿制程后，随即自未上线模型上卸下此过滤器，再将此过滤器安装于所需的机台中。

不幸的是，使用如上所述的光阻过滤器会引发晶圆缺陷。这样缺陷的其中一种可能是起因于过滤器的预湿不足，而在过滤器的内侧形成气泡，如此一来可能会引发架桥缺陷(Bridge Defect)。另一种造成这种缺陷的原因是此过滤器的品质不佳，其中此情况下的污染粒子可能源自于过滤器本身。又一种造成这种缺陷的原因是所采用的过滤器的使用寿命已接近使用期限或已经超过期限。此外，过滤器污染的风险为在未上线模型与实际机台上所进行的每一次的过滤器安装与卸载。

有鉴于上述现有的光阻过滤器存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的更换光阻过滤器的系统与方法，能够改进一般现有的光阻过滤器，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的就是在于，提供一种更换光阻过滤器的系统与方法，用以改善现有制造设备中容易产生过滤器所诱致的晶圆缺陷，以及须在原制程中全程使用较昂贵的化学溶液来操作的缺点。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种实施光阻过滤器更换技术的系统，其中该实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括：一过滤系统，连接至一分配器，其中该过滤系统至少包括一过滤器；以及一开关机构，用以选择性地连接该过滤系统以输通一第一化学溶液和一第二化学溶液的其中之一。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其中所述的开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。

前述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其中所述的第一化学溶液至少包括光阻，该第二化学溶液至少包括可溶解该第一化学溶液的一溶剂。

前述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其中在该分配器用以涂布晶圆的正常操作期间，连接该过滤系统以输通该第一化学溶液；及在更换该光阻过滤器时，连接该光阻过滤器，以同时输通该第二化学溶液。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中该过滤系统是连接至一分配器，该更换过滤系统的光阻过滤器的方法至少包括：换上该光阻过滤器；连接该过滤系统以输通一第一化学溶液，来清洗和预湿该光阻过滤器；以及在该连接该过滤系统以输通该第一化学溶液的步骤后，连接该分配器以接收一第二化学溶液。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中所述的第二化学溶液是一光阻溶液，该第一化学溶液为可溶解该第二化学溶液的一溶剂。

前述的更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中连接该过滤系统以输通该第一化学溶液的步骤，和连接该分配器以接收该第二化学溶液的步骤是使用一开关机构来进行，该开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。