[发明专利]处理装置和处理方法

权利要求书

1.一种处理装置，其特征在于，包括：

收纳容器，收纳多个被处理体，前面具有取出该被处理体的取出口和密闭该取出口的盖；

搬入该收纳容器的搬入区域；

维持在与该搬入区域不同的气氛下的移载区域；

将所述搬入区域和所述移载区域之间隔开，并且具有开口部的隔壁；

开关所述隔壁的开口部的门；和

将所述收纳容器载置于搬入区域的所述开口部附近的载置部，其中，

所述收纳容器的前面一侧的两侧设置有被按压部，

所述隔壁上设置有按压保持机构，所述按压保持机构具有从侧方抵上所述收纳容器的被押压部，并使所述收纳容器保持在被按压在所述隔壁的开口部的状态的按压辊。

2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述按压保持机构具有：通过支架以转动自由的方式支承在所述隔壁上的、在垂直方向上延伸的转动轴；从所述转动轴向其半径方向延出并将所述按压辊保持在前端，并将所述按压辊向前方按压施压的板簧部件；和使所述转动轴转动的驱动部。

3.如权利要求2所述的处理装置，其特征在于：

在所述转动轴上，通过所述板簧部件至少上下设置有一对所述按压辊。

4.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述移载区域的气氛为不活泼气体，该移载区域内的压力设定为比所述搬入区域的压力高的压力。

5.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

还具有在隔壁的搬入区域一侧的背面设置的、将处于待机位置的按压保持机构的按压辊引导至收纳容器的被按压部的引导面。

6.如权利要求2所述的处理装置，其特征在于：

还具有从所述转动轴沿着所述板簧部件的外面延出，在所述按压辊从侧方抵上所述收纳容器的被按压部时，从外面一侧支承所述板簧部件的约束部件。

7.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

还具有设置在所述隔壁的搬入区域一侧的背面，当所述收纳容器与所述开口部接触时，将所述隔壁和所述收纳容器之间密封的密封部件。

8.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

还具有设置在所述隔壁内，当在所述门关闭的状态下打开所述收纳容器的盖时，向所述收纳容器内导入不活泼气体的不活泼气体导入通路。

9.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述被按压部由在所述收纳容器的前面向两侧突出的凸缘部构成。

10.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述被按压部由设置在所述收纳容器的前面一侧的两侧上的凹部构成。

11.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述板簧部件由不锈钢构成，所述按压辊由氟树脂构成。

12.一种处理方法，其特征在于：

使用下述处理装置，所述处理装置包括：

收纳多个被处理体并且前面具有取出该被处理体的取出口和密闭该取出口的盖的收纳容器；搬入该收纳容器的搬入区域；维持在与该搬入区域不同的气氛下的移载区域；将所述搬入区域和所述移载区域之间隔开，并且具有开口部的隔壁；开关所述隔壁的开口部的门；和将所述收纳容器载置于搬入区域的所述开口部附近的载置部，

所述处理方法包括：

使所述收纳容器载置于所述载置部的工序；

使载置在所述载置部的所述收纳容器与所述开口部接触的工序；

使设置在所述隔壁上的所述按压保持机构的按压辊从侧方抵上设置在所述收纳容器的前面一侧的两侧的所述被按压部，并使所述收纳容器保持在被按压在所述隔壁的开口部的状态的工序；和

打开所述门和所述盖，将所述收纳容器内的被处理体从所述搬入区域搬送到所述移载区域的工序。