[发明专利]用于检查交替相移掩模的方法和系统

权利要求书

1.一种用于检查交替相移掩模的系统，包括：

光学扫描器，配置其以扫描所述交替相移掩模和产生光学图像数据；

数据库，配置其以存储偏倚以补偿使用所述光学扫描器的所述交替相移掩模的光学扫描响应的检查数据；以及

图像处理器，配置其以确定在所述交替相移掩模中是否存在缺陷，其中所述图像处理器通过比较产生的光学图像数据与偏倚的检查数据确定缺陷的存在，其中超过用户选择的阈值的所述产生的光学图像数据与所述偏倚的检查数据之间的变化表示所述交替相移掩模中的缺陷。

2.根据权利要求1的系统，其中所述偏倚的检查数据基于源自在测试交替相移掩模的扫描期间从所述光学扫描器获得的光学成像数据的数据。

3.根据权利要求2的系统，其中所述偏倚的检查数据基于通过所述光学扫描器观察的相移的光学成像数据与从设计数据产生的参考光学图像数据的光学扫描响应中的差异。

4.根据权利要求1的系统，其中所述光学扫描器利用与在制造期间用于曝光所述交替相移掩模的光的波长失配的光的波长。

5.根据权利要求4的系统，其中所述光学扫描器利用非光化波长的光。

6.根据权利要求1的系统，其中所述图像处理器利用管芯到数据库的检查方法。

7.根据权利要求1的系统，还包括用于控制所述图像处理器的操作的控制器。

8.一种用于检查交替相移掩模的方法，包括以下步骤：

使用光学扫描器扫描所述交替相移掩模；

从所述交替相移掩模的所述扫描产生光学图像数据；

取回偏倚以补偿使用所述光学扫描器的所述交替相移掩模的光学扫描响应的检查数据；以及

根据产生的光学图像数据和偏倚的检查数据确定在所述交替相移掩模中是否存在缺陷。

9.根据权利要求8的方法，其中缺陷的所述存在的所述确定包括比较所述产生的光学图像数据与所述偏倚的检查数据，其中超过用户选择的阈值的所述产生的光学图像数据与所述偏倚的检查数据之间的变化表示所述交替相移掩模中的缺陷。

10.根据权利要求8的方法，其中所述偏倚的检查数据基于源自在测试交替相移掩模的扫描期间从所述光学扫描器获得的相移的光学成像数据的数据。

11.根据权利要求10的方法，其中所述偏倚的检查数据基于通过所述光学扫描器观察的所述相移的光学成像数据与从设计数据产生的参考光学图像数据的光学扫描响应中的差异。

12.根据权利要求8的方法，其中所述扫描利用与在制造期间用于曝光所述交替相移掩模的光的波长失配的光的波长。

13.根据权利要求12的方法，其中所述扫描利用非光化波长的光。

14.根据权利要求8的方法，其中所述确定包括利用管芯到数据的库检查方法。