[发明专利]药液供给装置

权利要求书

1.一种药液供给装置，其特征在于，包括：

喷嘴，其形成有用于向基板吐出药液的吐出口；及

药液供给单元，其可上下移动地设置在所述喷嘴的上部，并向所述喷嘴供给药液，

其中，通过调整所述药液供给单元与所述喷嘴之间的高度差来调节药液吐出量。

2.根据权利要求1所述的药液供给装置，其特征在于：

所述药液供给单元，包括：

药液储存槽，其用于向所述喷嘴供给药液；

药液导管，其一端与所述药液储存槽相连接，而另一端与所述喷嘴相连接，用于将所述药液储存槽的药液导入所述喷嘴；

第一阀门，其安装在所述药液导管上，并选择性地开启或关闭所述药液导管；及

高度调节装置，其安装在所述药液储存槽的一侧，用于调节所述药液储存槽的高度。

3.根据权利要求2所述的药液供给装置，其特征在于：

所述药液供给单元还包括，

药液供给管，其用于从设于外部的药液供给源，将药液导入药液储存槽中；及

第二阀门，其用于选择性地开启或关闭所述药液供给管。

4.根据权利要求2所述的药液供给装置，其特征在于：

所述药液供给单元还包括用于检测所述药液储存槽中液位的检测装置，

其中，所述检测装置包括：药液流入管，其两端与药液储存槽连通，以使所述药液储存槽的药液流入到其内部；传感器，其安装在所述药液流入管的一侧，用于检测流入到所述药液流入管中的药液高度。

5.根据权利要求2所述的药液供给装置，其特征在于：

所述药液供给单元进一步包括排出单元，其用于在供给到药液储存槽的药液超过预定液位时，排出过量的药液。

6.根据权利要求5所述的药液供给装置，其特征在于：

所述排出单元包括，

排出管，其与所述药液储存槽一侧相连接；

排出槽，其与所述排出管相连接，用于储存通过排出管排出的药液。

7.根据权利要求2所述的药液供给装置，其特征在于：

所述高度调节装置包括，

气缸，其安装于所述药液供给单元的下端；

活塞，其一端与气缸相连接，而另一端与药液储存槽相连接，用于提升或下降所述药液储存槽。