[发明专利]药液供给装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种药液供给装置，尤其涉及一种通过改良的结构，能够易于向喷嘴供给药液的药液供给装置。

背景技术

通常，在平板显示器基板的生产工艺中，作为在基板表面形成预定图案的方法，广泛采用照相平版印刷术。

上述方法在进行曝光、显影、蚀刻之前，先进行如在基板表面涂敷预定厚度的光刻胶等感光药液(以下简称药液)的涂敷作业。

上述涂敷作业中使用喷嘴，而所述喷嘴使用狭缝式喷嘴，藉以将由药液供给装置所供给的药液喷射到基板上。

所述药液供给装置包括，与所述喷嘴相连接且用于供给药液的药液供给单元，以及用于抽吸装在所述药液供给单元的药液，并以预定压力将其供给到所述喷嘴的泵。

而且，在涂敷作业区中，所述药液供给单元及泵安装在与所述喷嘴主体相隔一定距离的喷嘴主体侧方且分别由供给管相连接，并且通过所述泵的抽吸压力从所述药液供给单元抽吸药液，经由所述供给管将药液供给到所述喷嘴。

但是，所述药液供给装置存在如下问题。

第一，虽然采用由泵抽吸药液的结构，但所述泵的价格昂贵且结构复杂，因而制造成本高且制造工期长。

第二，药液供给单元的药液减少的情况下，确认减少量以后，需要手动补充减少的药液，因此存在工作效率降低的问题。

第三，利用泵，从药液供给单元供给药液时，由于泵的抽吸方向是向上式，因此集聚在药液上部(液面)的泡沫有可能会先于药液之前流入到喷嘴，从而在含有泡沫的状态下供给药液，而这将会导致产品质量降低。

第四，对基板进行涂敷作业时，随着储存药液的液位逐渐下降，所喷射的药液吐出量也随之减少，从而导致涂敷于基板上的药液厚度不一致。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其一个目的在于提供一种将药液供给单元安装在喷嘴上部，通过以向下方式向喷嘴供给药液的药液供给装置，藉此取代利用泵供给药液的药液供给装置，以减少生产成本。

本发明的另一目的在于，提供一种通过以向下方式向喷嘴供给药液，来最大限度地防止药液中的泡沫流入到喷嘴的药液供给装置。

本发明的另一目的在于，提供一种自动检测药液供给单元的药液减少量并补充减少的药液，以使药液保持预定液位的药液供给装置。

本发明的另一目的在于，提供一种根据基板涂敷作业的进度改变药液供给单元的高度，使所喷射的药液吐出量保持一致，以保持涂敷于基板上的药液厚度的药液供给装置。

为实现上述目的，本发明提供一种药液供给装置，其包括：喷嘴，其设有用于向基板吐出药液的吐出口；药液供给单元，其可上下移动地设置在所述喷嘴的上部，并向所述喷嘴供给药液。其中，通过调整所述药液供给单元与喷嘴之间的高度差来调节所述药液的吐出量。

本发明的药液供给装置具有如下优点。

第一，通过将药液储存槽设在喷嘴的上部，利用高度差来向喷嘴供给药液，因此无需另设抽吸装置，从而可减少生产成本。

第二，采用将药液储存槽设在喷嘴上部向下供给药液的方式，从而可最大限度地防止泡沫流入到供给至喷嘴的药液中，从而提高生产效率。

第三，利用传感器检测药液储存槽中的药液减少量，并自动补充减少的药液，从而可易于进行药液补充作业。

第四，根据基板涂敷作业的进度，改变药液储存槽的高度，从而将喷射的药液吐出量保持一定水平，进而使涂敷于基板上的药液厚度保持一致。

附图说明

图1是用以说明具备本发明药液供给装置的涂敷装置结构的示意图。

图2是表示图1所示涂敷装置的药液供给装置结构的概略图。

图3a是表示未控制药液吐出量的情况下，涂敷于基板上的药液厚度的示意图。

图3b是表示药液储存槽的高度与基板涂敷位置之间关系的图表。

图3c是表示控制药液吐出量的情况下，涂敷于基板上的药液厚度的示意图。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明实施例所涉及的设置于涂敷装置的药液供给装置。

如图1及图2所示，本发明一实施例所涉及的涂敷装置的药液供给装置1安装在工作台M的一侧。所述工作台M以常规结构构成，其具备如输送辊等常规的输送装置M1，藉此输送基板G，并且在此输送过程中进行涂敷光刻胶等感光药液W的涂敷作业。

所述涂敷装置的药液供给装置1向由输送装置M1输送的基板G上喷射药液W，从而进行涂敷作业。