[发明专利]基板清洗装置和使用该装置的基板清洗方法

说明书

参考引入

本申请基于并且要求于2006年9月15日提交的日本专利申请号码为2006-250475的优先权的权益，其公开的内容被全部包含在此作为参考。

技术领域

本发明涉及用于液晶显示面板的生产装置，和用于液晶显示面板的制造方法，尤其涉及用于清洗在液晶显示面板中包括的基板的基板清洗装置以及使用该装置的基板清洗方法。

背景技术

作为音频和可视(AV)设备或办公室自动化(OA)设备的显示装置，液晶显示装置得到广泛的使用，因为这种装置薄、重量轻并且具有较低的功率消耗。

这个液晶显示(LCD)装置包括LCD面板，该面板包括第一基板、第二基板和设置在这两个基板之间的液晶(LC)层。在第一基板(在下文中，被称为TFT基板)上以矩阵形状来形成诸如薄膜晶体管(TFT)之类的开关元件。在第二基板(在下文中，被称为CF基板)上形成彩色滤波器(CF)和黑色矩阵(BM)等

上述LCD面板例如以下列过程来形成，

(1)清洗TFT基板和CF基板，并且干燥它们；

(2)在TFT基板和CF基板的彼此相对的表面上印刷/固化配向膜；

(3)摩擦所述配向膜；

(4)清洗所述基板，并且干燥以便除去摩擦布的纤维或配向膜的切屑；

(5)将隔离体散布到TFT基板和CF基板的其中之一，并且固定所述隔离体；

(6)在另一基板上应用密封材料和转印材料；以及

(7)丢弃液晶材料并且密封所述基板。

在上述LCD面板中，通过由在两个基板之一或者两个基板上都提供的电极所产生的电场，来控制LC分子的配向方向。上述LCD面板基于所述控制显示图像。当异物残存在TFT基板或CF基板上时，在基板间形成不均匀的缝隙。  由于缝隙是不均匀的，所以显示质量降低了。因此，尤其对于大的LCD面板来说，清洗基板是很重要的。因而，已经使用各种方法来执行大基板的清洗。

在基板清洗设备中，基板是沿着水平方向，一个接一个地被传送的。作为使用基板清洗设备的清洗方法，喷射法、涂刷法、这些方法的组合等等都是已知的。在所述喷射法中，净化水或化学药品被喷射在基板上。在涂刷法中，滚刷机械地除去异物。在基板清洗设备中，当清洗玻璃基板的背面时，基板接收来自于背面的向上压力。因此，在抑制了对于玻璃基板的向上压力的同时，传送玻璃基板(作为上述涂刷法的基板清洗设备的一个例子，  例如参看日本专利申请号1993-198544(2-4页和图1)。

因为通过滚刷机械地除去异物，涂刷法做得很好。然而，在清洗基板的背面时，即使上述方法也可能是不够的。参看图9，10A和和10B来描述所述困难。图9是举例说明典型涂刷清洗单元的结构的侧视图。图10A示出了典型滚刷。图10B示出滚刷正在清洗玻璃基板的背面。

如图9中所示，涂刷清洗单元1包括涂刷清洗机械部件，喷射清洗机械部件和传送机械部件。涂刷清洗机械部件包括滚刷10，其在旋转的同时接触玻璃基板3的背面，和滚刷移动部件7，其上下移动所述滚刷10。喷射清洗机械部件包括上部喷嘴6a，其从在玻璃基板3上方设置的喷射口喷射出净化水或化学药品，以清洗其正面。喷射清洗机械部件进一步包括下部喷嘴6b，其从在玻璃基板3下方设置的喷射口喷射出净化水或化学药品，以清洗其背面。传送机械部件包括传送滚筒4，其在与滚刷10的纵向方向垂直的方向上移动玻璃基板3，和上升阻止滚筒5，其阻止玻璃基板3上升。

发明内容

本发明示例性的目的是提供LCD面板的生产装置，其在没有给作为清洗目标的基板给予过多压力的情况下均匀地清洗整个基板，以及使用该装置的LCD面板制造方法。

根据本发明的一个示例性的方面，基板清洗设备包括通过使滚刷接触基板表面来清洗基板的涂刷清洗单元，该滚刷包括刷毛，并滚刷直径、刷毛硬度和刷毛密度的至少其中之一从滚刷的末端部分到它的中心部分变的较大。该设备还包括传送单元，其传送所述基板。

本发明其它示例性的特征和优点将从结合附图进行的下列描述中变得更加显而易见，其中在它的整个图中同样的参考字符表示相同的或类似的部件。

附图说明

当结合附图时，本发明示例性的特征和优点将从下列详细描述中变得显而易见，其中：

附图1是示出根据本发明的第一示例性实施例的涂刷清洗单元的结构的侧视图；

附图2A到2C是示出根据本发明的第一示例性实施例的滚刷的例子的剖面图；

附图2D是接触玻璃基板的滚刷的剖面图；