[发明专利]修整环型智能超精密抛光机

权利要求书

1.一种修整环型智能超精密抛光机，包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、所述抛光盘通过主轴安装在机座上，所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接，所述主轴与测速机构传动连接，所述的智能控制平台连接驱动电机和测速机构，其特征在于：所述的超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架，所述的修整环内安装用于夹装工件的基盘，所述的修整环位于所述抛光盘的上方，所述的修整环保持架安装在机座上，所述修正环保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的两端设有摩擦轮，所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上，且所述修整环与所述弧形段之间有间隙。

2.如权利要求1所述的修整环型智能超精密抛光机，其特征在于：所述的超精密抛光机包括至少两对修整环和修整环保持架，所述的各对修整环和修整环保持架分别位于所述抛光盘上方的不同区域。

3.如权利要求1或2所述的修整环型智能超精密抛光机，其特征在于：所述的修整环保持架安装在立柱上，所述的立柱固定安装在机座上。

4.如权利要求1或2所述的修整环型智能超精密抛光机，其特征在于：所述的测速机构为光栅测控系统。

5.如权利要求4所述的修整环型智能超精密抛光机，其特征在于：所述的驱动电机的输出轴上设有主动齿轮、所述主动齿轮通过同步带连接被动齿轮，所述被动齿轮安装在主轴上；所述的主轴底端连接附加齿轮，所述附加齿轮通过传动带连接测速机构的输入轴。