[发明专利]修整环型智能超精密抛光机

说明书

技术领域

本发明涉及抛光机领域，尤其是一种超精密抛光机(或称研磨机)。

背景技术

传统的研磨、抛光机在加工工件的过程中，是无法在线修整抛光盘(研磨盘)的平面精度的，随着加工过程的不断进行，抛光盘的平面精度会越来越差，采用离线式修整平面精度；目前的抛光机(研磨机)都是非智能化或者是半智能化的，对抛光盘的转速和位置都无法精确的进行智能化控制，因而很难保证工件在加工过程中获得极高的平面精度，也很难在较短的时间内获得高的表面质量。存在的缺点：1、无法实现在线修整抛光盘的平面精度；2、延长了加工周期

发明内容

为了克服已有的超精密抛光盘的无法实现在线修整抛光盘的平面精度、加工周期长的不足，本发明提供一种能够实现在线修整抛光盘的平面精度、获得很高的平面加工精度、加工周期短的修整环型智能超精密抛光机。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种修整环型智能超精密抛光机，包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、所述抛光盘通过主轴安装在机座上，所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接，所述主轴与测速机构传动连接，所述的智能控制平台连接驱动电机和测速机构，所述的超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架，所述的修整环内安装用于夹装工件的基盘，所述的修整环位于所述抛光盘的上方，所述的修整环保持架安装在机座上，所述修正环保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段的两端设有摩擦轮，所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上，且所述修整环与所述弧形段之间有间隙。

作为优选的一种方案：所述的超精密抛光机包括至少两对修整环和修整环保持架，所述的各对修整环和修整环保持架分别位于所述抛光盘上方的不同区域。

进一步，所述的修整环保持架安装在立柱上，所述的立柱固定安装在机座上。

作为优选的另一种方案：所述的测速机构为光栅测控系统。

更进一步，所述的驱动电机的输出轴上设有主动齿轮、所述主动齿轮通过同步带连接被动齿轮，所述被动齿轮安装在主轴上；所述的主轴底端连接附加齿轮，所述附加齿轮通过传动带连接测速机构的输入轴。

本发明的技术构思为：在抛光机上增加修整环，经由抛光盘上的摩擦力带动修整环转动，内装有基盘(此基盘底面装有工件)的修整环带动修整环保持架上的摩擦轮转动，同时摩擦轮反作用于修整环使修整环在修整环保持架内作自转运动，基盘在修整环内作自转运动。通过此修整环开有排屑槽的底面与抛光盘面的摩擦对抛光盘面进行在线修整；并且采用了智能控制系统和高精密的光栅测控系统，对抛光盘的转速进行高精度的控制，在配套工艺条件下可获得极高的加工精度、表面质量以及产品质量的一致性。

基于行星式运动设计原理，保证修整环与工件加工表面各点相对于抛光盘的线速度相等，且抛光运动轨迹不重复。修整环在加工中，其运动轨迹可以覆盖到整个抛光盘表面，这种时时刮除抛光盘工作表面的运动方式，可始终使抛光盘保持较佳的工作状态，工件被加工表面的磨除率能保持在一固定的范围内，不会因为抛光盘在长期的使用后，抛光盘表面各处磨损不一致，而造成工件被加工表面各点去除量有明显差异，产生工件被加工表面的不平。

本发明的有益效果主要表现在：1、能够实现在线修整抛光盘的平面精度、获得很高的平面加工精度；2、缩短工件的加工周期；3、可修整平行度：采用偏心载荷修正工件的平行度，也可利用其加工出一定倾斜度的工件；4、速度可调、速度控制模式先进：可实现无级调速，并且采用“低速起动—无级提速—恒速加工—低速修整—低速停止”的研磨盘速度控制模式，可保证超精密研磨抛光加工的工艺要求；5、总转数精确控制采用超精密光栅测控技术，使抛光盘总转数的精度控制在±1°以内，以保证加工量总误差在1nm以内；6、智能专家数据库：采用最佳加工工艺参数专家数据库控制系统，进而保证加工的高质量和一致性，可有效地排除人为操作对加工过程的不利影响。

附图说明

图1是修整环型智能超精密抛光机的结构示意图。

图2是图1的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。