[发明专利]减压干燥装置

权利要求书

1.一种减压干燥装置，用于在减压状态下对被处理基板上的涂敷液实施干燥处理，其特征在于，包括：

腔室，其具有用于将所述基板以大致水平状态收容的空间，并能够减压；

第一排气机构，其在所述干燥处理中用于在密闭状态下对所述腔室内的空间进行真空排气；

台，其具有用于在所述腔室内载置所述基板的上面，并且具有用于向所述上面喷出使所述基板浮起的气体的大量的气体喷出孔；

气体供给部，其用于通过穿过所述台中的气体线路向所述气体喷出孔供给浮起基板用的气体；和

第二排气机构，其用于对所述气体线路进行真空排气，

在进行所述干燥处理时，使所述气体线路与所述第二排气机构连接并将所述基板载置在所述台的上面，在进行所述基板的搬入搬出时，使所述气体线路与所述气体供给部连接并使所述基板在所述台上浮起。

2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述台的上面比所述基板小，比所述基板的产品区域大。

3.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述气体喷出孔作为一定密度的细孔形成在所述台的上面。

4.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述台的上面由多孔质物质构成。

5.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

在所述腔室的侧壁部设置有用于将所述基板从所述腔室外搬入所述腔室中的搬入口、和用于将所述基板从所述腔室中向所述腔室外搬出的搬出口，

在所述腔室的侧壁部外设置有用于开闭所述搬入口和所述搬出口的门机构。

6.如权利要求5所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述搬入口和所述搬出口彼此相对，在所述腔室的侧壁部分开设置。

7.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

具有用于以平流搬送将所述基板相对于所述腔室搬入搬出的搬送机构。

8.如权利要求7所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述基板为矩形，

所述搬送机构具有分别与在所述台的两侧露出的所述基板的两侧端部接触并使所述基板沿基板搬送方向移动的一对搬送线路。

9.如权利要求8所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述搬送线路具有在所述台的两边分别沿基板搬送方向以规定的间距配置在一列上的多个边托辊。

10.如权利要求7所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述搬送机构，在所述台与所述搬入口之间或所述台与所述搬出口之间具有沿基板搬送方向并列配置的1条或多条内部滚轴。

11.如权利要求7所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述搬送机构，在所述搬入口外或所述搬出口外具有沿基板搬送方向并列配置的1条或多条外部滚轴。

12.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

具有用于在所述腔室内使所述台升降移动或升降变位的台升降机构。

13.如权利要求12所述的减压干燥装置，其特征在于：

在进行所述干燥处理时，通过所述台升降机构使所述台上升至第一高度位置，使得所述基板从所述搬送线路向上方分离并载置在所述台的上面；在进行所述基板的搬入搬出时，通过所述台升降机构使所述台下降至第二高度位置，使得所述基板从所述台向上方分离并且基板两侧端部载置在所述搬送线路上。