[发明专利]减压干燥装置

说明书

技术区域

本发明涉及在减压状态下对涂敷于被处理基板上的涂敷液进行干燥的减压干燥装置。

背景技术

例如在液晶显示器(LCD)等平面面板显示器(FPD)制造的光刻工序中，这种减压干燥装置被用于在预烘焙之前对涂敷在被处理基板(玻璃基板等)上的抗蚀液进行干燥。

例如，如专利文献1所述，现有的减压干燥装置包括：上面开口的托架或浅底容器型的下部腔室；和构成为可在该下部腔室的上面气密地密合或嵌合的盖状上部腔室。在下部腔室中配设有台(stage)，在将基板水平地载置在该台上之后，关闭腔室(使上部腔室与下部腔室密合)进行减压干燥处理。在将基板从腔室搬入搬出时，利用升降设备(crane)等使上部腔室上升，打开腔室，再为了装载/卸载基板而利用气缸(cylinder)等使台适当地上升。然后，通过在减压干燥装置周围进行基板搬送的外部搬送机械手的处理，进行基板的搬入搬出或者装载/卸载。另外，在台的上面突出设置有大量支撑销，基板被载置在这些支撑销上。

专利文献1：日本专利特开2000-181079

如上所述，现有的减压干燥装置在每次将基板相对于腔室搬入搬出时都使上部腔室上下(开闭)移动，随着基板的大型化，这种装置结构中产生各种问题。即，若基板的尺寸如LCD基板那样，为单边超过2m的大小，则腔室也随之显著地大型化，仅上部腔室就为2吨以上的重量，需要大型的升降机构，并且因大振动引起的产生灰尘的问题和对工作人员的安全上的问题变得明显。此外，搬送机械手也逐渐大型化，但难以水平地保持并搬送较大的基板，由于将刚涂敷抗蚀剂后的基板如大团扇那样以弯曲的状态进行搬送，在减压干燥装置的腔室中进行基板的搬入搬出或装载/卸载时，容易引起位置偏移、冲突或破损等错误。而且，由于在腔室中基板在从台上面突出的销上接受减压干燥处理，因此也存在销的痕迹转印到基板上的抗蚀膜上的问题。

发明内容

本发明鉴于上述现有技术的问题而提出，其目的在于提供一种减压干燥装置，其能够高效安全且平稳地进行被处理基板的搬入搬出，并且能够有效地防止转印痕迹附着在基板上的涂敷膜上。

为了实现上述的目的，本发明的减压干燥装置用于在减压状态下对被处理基板上的涂敷液实施干燥处理，其特征在于，包括：腔室，其具有用于将上述基板以大致水平状态收容的空间，并能够减压；第一排气机构，其在上述干燥处理中用于在密封状态下对该腔室内的空间进行真空排气；台，其具有用于在上述腔室内载置上述基板的上面，并且具有用于向上述上面喷出使上述基板浮起的气体的大量的气体喷出孔；气体供给部，其用于通过穿过上述台中的气体线路向上述气体喷出孔供给浮起基板用的气体；和第二排气机构，其用于对上述气体线路进行真空排气。在进行上述干燥处理时，使上述气体线路与上述第二排挤机构连接并将上述基板载置在上述台的上面，在进行上述基板的搬入搬出时，使上述气体线路与上述气体供给部连接并使上述基板在上述台上浮起。

对于上述装置的结构而言，在减压干燥处理中，通过第一排气机构对腔室内空间进行真空排气，并且通过第二排气机构对通过台内部的浮起气体线路进行真空排气并将被处理基板载置在台的上面。因为在基板和台之间不存在部分的或局部的接触地方，所以不用担心会在基板上的涂敷膜上产生接触地方的转印痕迹。此外，使基板浮起在台上并通过适当地平流进行基板的搬入搬出，因此不需要使用搬送臂的搬送机械手，不会使基板因形如较大团扇那样弯曲而引起装载/卸载时的位置偏移和冲突/破损等错误。此外，在基板的搬入搬出时，也不需要进行开闭腔室上盖的操作，也解决产生灰尘的问题和安全上的问题。

此外，在本发明的一个优选方式中，台的上面具有比基板小，比基板的产品区域大的尺寸。由此，在减压干燥处理中，使台上面与基板的产品区域整个面接触，在基板搬入搬出时能够使搬送装置与露出台的外面的基板的两侧端部(非产品区域)接触或卡止。

此外，作为本发明优选的一个方式，气体喷出孔作为一定密度的细孔形成在台的上面，或台的上面由多孔质物质构成。通过将气体喷出孔设为细孔，能够有效地降低从台侧所带给基板上的涂敷膜的热的影响的波动。