[发明专利]基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及在光刻工序中对被处理基板实施洗净处理的基板处理装置。

背景技术

例如在FPD(平面面板显示器)的制造中，在作为被处理基板的LCD基板上形成规定的膜之后，涂布作为处理液的光致抗蚀剂(以下称抗蚀剂)形成抗蚀剂膜，与电路图案相对应曝光抗蚀剂膜，这叫做显影处理，所谓的通过光刻工序形成电路图案。

但是，在实施该光刻工序的抗蚀剂涂布显影处理系统中，作为能够有利地与LCD基板的大型化对应的显影方式，所谓的平流方式受到重视。该平流方式为在由搬送辊和搬送带沿水平方向敷设而成的搬送路径上搬送LCD基板，同时在搬送中进行显影、冲洗等、干燥等的一系列的显影处理工序。

现有的平流方式为，在搬送路径上以水平状态将LCD基板从上游端的搬入部搬送至下游端的搬出部，配置在搬送路径的上方或下方或者旁边的多个工具对在搬送路径上移动中或暂时停止中的基板实施各阶段的工序处理(参照专利文献1)。

例如，在刷洗洗净单元中，通过沿着搬送路径配置的刷洗洗净部、吹风洗净部、冲洗处理部、干燥处理部，对在搬送路径上以水平姿势搬送的LCD基板进行去除基板上的异物等的洗净处理。

此时，在刷洗洗净部中从基板表面擦掉的异物，紧接着通过吹风洗净部的空气吹风处理、冲洗处理部的冲洗液喷淋处理将其从基板上洗掉。

专利文献1：日本特开2003-83675号公报

但是，在上述的刷洗洗净单元中，在刷洗洗净部中，如图5所示，沿着由搬送滚子201敷设而成的搬送路径202，以例如吹拂器203、第一洗净喷嘴204、辊刷205、第二洗净喷嘴206的顺序配置。即，搬送到该刷洗洗净部200的LCD基板G，首先，通过从吹拂器203喷吹的送风将其吹风洗净，在从第一洗净喷嘴204喷吹洗净水之后，通过辊刷205擦掉基板G上的异物。然后，将从基板G上擦掉的异物通过从第二洗净喷嘴206喷出的洗净液洗掉。

但是，在现有的平流方式中，对水平姿势的LCD基板G从洗净喷嘴喷出洗净液，如图6所示，在基板上的喷嘴正下方洗净液L不流动停留下来，存在基板上的洗净液L的厚度过厚的可能性。

即，存在当基板上的洗净液L的厚度变厚时，从洗净喷嘴204、206喷出的洗净液L对基板表面的洗净压降低，同时新的洗净液无法到达基板表面，洗净能力降低的课题。

另外，存在向基板上供给的洗净液在包含异物的状态下残留在基板上，在基板干燥处理后异物再附着在基板G上的课题。

另外，存在为了防止这样的异物的再附着，即使使洗净喷嘴的洗净时间、次数增加，不仅搬送路径和处理时间增长、生产量降低，而且成本变高的课题。

发明内容

本发明就是为了解决上述课题而提出的，其目的在于提供一种在被处理基板的洗净处理中，不但能够防止向洗净处理后的基板再附着异物，而且能够有效地进行洗净处理，同时实现提高生产量和低成本化的基板处理装置。

为了解决上述课题，本发明涉及的基板处理装置，使用洗净液进行被处理基板的洗净处理，其特征在于，具有：形成以仰面朝上的姿势搬送被处理基板的搬送路径，通过上述搬送路径沿规定方向搬送上述被处理基板的搬送单元；和向在上述搬送路径上搬送的上述被处理基板的上面供给洗净液的洗净喷嘴，其中，上述搬送路径具有以水平状态搬送上述被处理基板的水平部、和从上述水平部形成规定角度的向上倾斜的倾斜部，上述洗净喷嘴配置在上述倾斜部的上方，洗净液的喷出方向为相对于水平方向向下方倾斜规定角度的方向、并且为上述搬送路径的上游方向，向在上述倾斜部上搬送的上述基板的倾斜面喷出洗净液。

另外，优选上述搬送路径通过敷设多个搬送滚子而形成，上述倾斜部通过使并列设置的上述多个搬送滚子的高度位置沿搬送方向分阶段地增高而形成。

通过这样的构成，在喷嘴正下方滴下的洗净液能够立即向基板后方流动，因此能够使喷嘴正下方的液体厚度变薄，其结果，能够防止从喷嘴喷出滴下的洗净液的压力(洗净压力)降低，同时能够使新的液体可靠地接触到基板表面。

另外，能够使向基板上供给的洗净液与异物一起流向基板后方，因为没有液体的残留，所以能够解决异物的再附着的课题。

另外，通过设置倾斜部，能够提高如上所述的洗净效率，同时能够实现搬送路径的缩短，因此能够得到提高生产量、低成本化的效果。