[发明专利]液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法以及液滴喷出装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法以及液滴喷出装置的制造方法。

背景技术

作为用于喷出液滴的液滴喷头，例如公知有搭载在喷墨记录装置上的喷墨头。喷墨头一般如下构成：具有喷嘴基板和腔室基板，所述喷嘴基板形成有用于喷出墨滴的多个喷嘴孔，所述腔室基板接合于该喷嘴基板，且在与喷嘴基板之间形成有与上述喷嘴孔连通的喷出室、存液器(reservoir)等墨液流路，通过由驱动部对喷出室施加压力，从选择的喷嘴孔喷出墨滴。作为驱动机构，有利用静电力的方式、基于压电元件的压电方式、利用发热元件的方式等。

在像这样的喷墨头中，以印刷速度的高速化以及颜色化作为目的，要求具有多个喷嘴列的构造的喷墨头。并且，在近年来喷嘴密度高密度化的同时，还在长条化(每1列的喷嘴数的增加)，喷墨头内的促动器数，越来越增加。

在喷墨头中，设置有与各个喷出室共同连通的存液器，因此伴随着喷嘴密度的高密度化，喷出室的压力也传递到存液器上，该压力的影响也波及其他的喷出室和与其连通的喷嘴孔。例如，通过驱动促动器，若对存液器施加正压，则从本来应该喷出墨滴的喷嘴孔(驱动喷嘴)以外的非驱动喷嘴也漏出墨滴，相反地若对存液器施加负压，则应该从驱动喷嘴喷出的墨滴的喷出量减少，印字品质劣化。

为了防止像这样的喷嘴间的压力干涉，存在将具有隔膜部的被称为墨分配板的单元安装在形成有喷嘴的部件上的技术(例如，参照专利文献1)。

但是，在专利文献1所述的技术中，由于将墨分配板另外组装在形成有喷嘴的部件上，因此难以使喷墨头小型化、薄型化。

因此，存在将用于缓冲存液器的压力变动的隔膜部设置在喷嘴基板上的喷墨头(例如，参照专利文献2)。

专利文献1：日本特公平2-59769号公报(第1页、第1图-第2图)

专利文献2：日本特开平11-115179号公报(第2页、图1-图2)

在专利文献2所述的喷墨头中，由于存液器和喷出室形成在同一的基板(腔室基板)上，所以从确保存液器的体积的观点看，难以将隔膜部和存液器设置在同一基板上。因此，虽然隔膜部形成在喷嘴基板上，但是如果是该构造，则由于强度低的部位露出在外部，所以使隔膜部变薄也有界限，另外需要另外设置保护盖等。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可实现喷嘴的高密度化、且能防止喷嘴间的压力干涉的液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法以及液滴喷出装置的制造方法。

与本发明相关的液滴喷头是，至少具备：喷嘴基板，其具有多个喷嘴孔；腔室基板，其具有与各喷嘴孔连通、由喷嘴孔喷出液滴的多个独立的喷出室；存液器基板，其具有成为相对于喷出室共同连通的存液器的存液器凹部，且设置在喷嘴基板和腔室基板之间，其中，在存液器凹部的内表面整体、和形成在存液器凹部的开口周围且深度比存液器凹部浅的第二凹部的底面，具有通过成膜形成的树脂薄膜，在第二凹部的底面成膜的树脂薄膜，被切断成包围存液器凹部的环绕状，在存液器凹部的底面成膜的树脂薄膜的一部分成为缓冲压力变动的隔膜部。

由于隔膜部和喷出室设置在不同的基板(存液器基板和腔室基板)上，所以能确保存液器的体积，并且能在存液器的内部设置隔膜部。由此，可实现喷嘴的高密度化，并且降低存液器的顺从性抑制在存液器内的压力变动，通过防止在喷墨时发生的喷嘴间的压力干涉，能获得良好的喷出特性。

并且，通过使存液器的底部整面为隔膜部，能增大隔膜部的面积，能增大隔膜部的压力缓冲效果。

另外，树脂薄膜由于不形成在存液器基板的与喷嘴基板或腔室基板粘接的各个粘接面，所以可以防止因在其粘接面上夹有树脂薄膜而引起的与喷嘴基板或腔室基板的粘接强度的下降。

另外，由于树脂薄膜形成在存液器凹部的内表面整体，所以能充分确保树脂薄膜和存液器基板的接触面积，能确保足够的密接性。

另外，与本发明相关的液滴喷头，在存液器基板上构成存液器凹部底面的树脂薄膜部分的与存液器凹部的相反一侧，为从存液器凹部的形成面相反侧的表面挖入到隔膜部而形成的空间部。

由于隔膜部是设置在存液器基板内的构造，所以隔膜部夹在喷嘴基板和腔室基板之间而存在，外力不会直接施加。据此，能使隔膜部变薄，且不需要保护罩等那样的特别的保护部件，可以提高头单元相对于外力的强度。

由于隔膜部的两面成为空间部，所以在该空间部内隔膜部可以振动变位。

另外，由于不需要将隔膜部变形用的空间部加工在腔室基板或喷嘴基板上，因此可以消除对于腔室基板或者喷嘴基板的设计及加工的影响。