[发明专利]光源装置

权利要求书

1.一种光源装置，其特征在于，包括：

放射光的光源；

反射镜，将从所述光源放射出的光以反射面反射并从出射开口部出射；

气体喷吹结构，具有从所述反射镜出射的光所通过的通过开口部，并向所述反射面喷吹气体。

2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于：

具有箱体，所述箱体容纳所述光源、所述反射镜、以及所述气体喷吹结构，并使从外部导入的空气流通。

3.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于：

所述气体喷吹结构包括：

供给口，接受来自外部的气体供给；

喷射孔，以包围所述通过开口部的方式配置多个，并喷射气体以向所述反射面喷吹气体；

分配路，向所述喷射孔分配从所述供给口导入的气体。

4.根据权利要求3所述的光源装置，其特征在于：

所述喷射孔被大致等间隔地配置。

5.根据权利要求3所述的光源装置，其特征在于：

所述分配路以包围所述通过开口部的方式形成为环状。

6.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于：

所述供给口以夹着所述通过开口部而相对的方式至少设置1组。

7.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于：

所述喷射孔被配置为从所述供给口导入的气体的导入方向线上偏离。

8.根据权利要求3所述的光源装置，其特征在于：

所述气体喷吹结构包括：

分配路部件，形成有成为所述分配路的沟；

喷射孔部件，安装在所述分配路部件上以覆盖所述沟，并形成有成为所述喷射孔的切口。

9.根据权利要求8所述的光源装置，其特征在于：

所述气体喷吹结构具有对安装在所述喷射孔部件上的所述反射镜进行定位的定位部件。

10.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于：

所述反射镜是所述反射面形成在内面且在一端形成有所述出射开口部的筒状体，

所述出射开口部向着所述反射面的更外侧扩展。

11.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于：

所述反射镜是所述反射面形成在内面且在一端形成有所述出射开口部的筒状体，

所述光源在插通所述反射镜的另一端的开口部的状态下配置在所述反射镜内，

在所述开口部的边缘和所述光源之间，形成有用于使被所述气体喷吹结构喷吹到所述反射面上的气体通过的间隙。

12.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于：

由所述气体喷吹结构喷吹到所述反射面上的气体是惰性气体。