[发明专利]多点电压和电流探针系统

权利要求书

1.一种用于在电路中多个位置处监视射频RF功率的计量系统，包括：

多个RF传感器，基于所述RF功率的电气特性，生成相应的模拟信号；

多路复用模块，基于所述模拟信号生成输出信号；和

分析模块，基于所述输出信号生成消息，其中所述消息包含与由所述多个 RF传感器感测的所述电气特性有关的信息。

2.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述多路复用模块利用时域多路 复用来将所述模拟信号多路复用为所述输出信号。

3.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述多路复用模块利用频域多路 复用来将所述模拟信号多路复用为所述输出信号。

4.一种用于在电路中多个位置处监视射频RF功率的计量系统，包括：

多个感测通道，各自基于在电路中一个位置处RF功率的电气特性，生成 输出信号，每个感测通道均包括：

RF传感器，基于所述RF功率的电气特性生成第一信号；

振荡器，生成周期性信号；和

混频器，将所述第一信号与所述周期性信号混频，以便为所述感测通 道生成输出信号；和

RF合路器，基于来自所述感测通道的多个输出信号，生成第二输出信号。

5.根据权利要求4所述的计量系统，进一步包括：

分析模块，基于来自所述RF合路器的所述第二输出信号生成消息，其中 所述消息包含与由所述多个感测通道感测的所述电气特性相关的信息。

6.根据权利要求4所述的计量系统，其中所述RF传感器为定向耦合器。

7.根据权利要求4所述的计量系统，其中所述RF传感器为电压/电流V/I 探针。

8.根据权利要求4所述的计量系统，进一步包括：多个低通滤波器，各自 对一个相应的来自所述RF传感器的第一信号进行滤波。

9.根据权利要求4所述的计量系统，进一步包括：多个高通滤波器，各自 对一个相应的来自所述感测通道的输出信号进行滤波。

10.根据权利要求4所述的计量系统，进一步包括：滤波器，对来自所述 RF合路器的所述第二输出信号进行滤波。

11.根据权利要求4所述的计量系统，其中每个所述周期性信号都具有不 同于其它周期性信号的频率。

12.一种用于在电路中多个位置处监视射频RF功率的计量系统，包括：

多个感测通道，各自基于在电路中一个位置处RF功率的电气特性，生成 输出信号对，每个感测通道均包括：

RF传感器，基于正向RF功率和反射RF功率生成模拟信号对；

振荡器，其生成异相的第一和第二周期性信号；

第一混频器，将所述第一周期性信号与所述模拟信号对中的一个混频， 以生成所述感测通道的输出信号之一；和

第二混频器，将所述第二周期性信号与所述模拟信号对中的另一个混 频，以生成所述感测通道的另一个输出信号；

第一RF合路器，基于来自这些第一混频器的多个输出信号，生成第一宽 带信号；和

第二RF合路器，基于来自这些第二混频器的多个输出信号，生成第二宽 带信号。

13.根据权利要求12所述的计量系统，进一步包括：

分析模块，基于来自所述第一和第二RF合路器的宽带信号生成消息，其 中所述消息包含与由所述多个感测通道感测的所述电气特性相关的信息。

14.根据权利要求12所述的计量系统，其中所述RF传感器为定向耦合器。

15.根据权利要求12所述的计量系统，进一步包括：多个低通滤波器，每 个滤波器对相应的一个来自所述RF传感器的模拟信号进行滤波。

16.根据权利要求12所述的计量系统，进一步包括：多个高通滤波器，各 自对相应的一个来自所述感测通道的输出信号进行滤波。