[发明专利]多点电压和电流探针系统

说明书

对相关申请的交叉引用

本申请要求2007年5月14日提交的美国临时申请No.60/894,738的权 益。以上申请所公开的内容以其整体通过引用并入于此。

技术领域

本公开内容涉及在等离子体处理系统中，用于感测射频功率的计量方 法。

背景技术

本节的陈述仅提供与本公开内容有关的背景信息，并且可能不构成现有 技术。

电子工业采用射频(RF)等离子体来制造诸如集成电路、压缩盘(CD)、 数字多用光盘(DVD)等的多种元件。通常，RF等离子体处理由闭环控制 系统监视和控制。

RF等离子体控制系统测量一个以上应用于等离子体室的RF功率参数。 等离子体控制器基于测量结果和控制算法，反复地调整参数。在多点应用中， 在RF功率通路的至少两个位置进行测量，对来自不同位置的测量结果进行 同步或时间关联是很有挑战性的。

通信工业也采用RF能量来允许装置和人类进行无线通信和在不同的位 置之间传递信息。无线电通信站点可能包括无线电发射机、接收机、天线等。 它们可能还包括测试和/或监视设备来保证无线电通信站点正常运行，并符 合政府规章制度和/或工业标准。

所述测试和/或监视设备可以在特定站的RF通路中的至少两个位置测 量RF系统参数。虽然所述参数可以用来保证系统正常运行，但是使对多个 位置的参数测量结果进行同步或时间关联是很有挑战性的。

发明内容

公开了一种用于在电路的多个位置监视射频(RF)功率的计量系统。 所述系统包括：多个RF传感器，其基于所述RF功率的电气特性生成相应 的模拟信号；多路复用模块，其基于所述模拟信号生成输出信号；和分析模 块，其基于所述输出信号生成消息。所述消息包含与由所述多个RF传感器 感测的所述电气特性相关的信息。

公开了一种用于在电路的多个位置监视射频(RF)功率的计量系统。 所述系统包括多个感测通道，各自基于在电路中一个位置处的所述RF功率 的电气特性，生成输出信号。每个感测通道包括：RF传感器，其基于所述 RF功率的电气特性，生成第一信号；振荡器，其生成周期性信号；和混频 器，其将所述第一信号与所述周期性信号混频，以生成用于所述感测通道的 所述输出信号。RF合路器基于来自所述感测通道的多个输出信号，生成第 二输出信号。

公开了一种用于在电路的多个位置监视射频(RF)功率的计量系统。 所述系统包括多个感测通道，各自基于在电路中一个位置处的所述RF功率 的电气特性，生成输出信号对。每个感测通道包括：RF传感器，其基于所 述RF功率生成模拟信号对；振荡器，其生成异相的第一和第二周期性信号； 第一混频器，其将所述第一周期性信号与所述模拟信号对中的一个混频，以 生成所述感测通道的一个输出信号；和第二混频器，其将所述第二周期性信 号与所述模拟信号对中的另一个混频，以生成所述感测通道的第二个输出信 号。第一RF合路器基于来自多个所述第一混频器的多个输出信号，生成第 一宽带信号，而第二RF合路器基于来自多个所述第二混频器的多个输出信 号，生成第二宽带信号。

公开了一种用于在电路的多个位置监视射频(RF)功率的计量系统。 所述系统包括：多个RF传感器，各自基于在所述电路中一个位置处的RF 功率的电气特性，生成模拟信号对；第一多路复用器，其从各模拟信号对中 接收一个模拟信号，并依照控制信号，将一个所接收的信号发送至所述第一 多路复用器的输出端；第二多路复用器，其从各模拟信号对中接收另一个模 拟信号，并依照所述控制信号，将一个所接收的信号发送至所述第二多路复 用器的输出端；和分析模块，其基于来自所述第一和第二多路复用器的输出 端的信号生成消息。所述消息包含与由所述多个感测信道感测的所述电气特 性相关的信息。

公开了一种用于在电路的多个位置监视射频(RF)功率的方法。所述 方法包括基于在电路的一个相关联位置处的所述RF功率的电气特性，生成 输出信号，各生成步骤包括：基于所述RF功率，生成第一信号；生成周期 性信号；和将所述第一信号与所述周期性信号混频，以生成所述输出信号。 所述方法包括组合所述输出信号，以生成包括各输出信号的频率分量的宽带 信号。