[发明专利]用于大面积基板处理系统的装载锁定室

权利要求书

1.一种装载锁定室包括：

一个室体，其第一侧适用于连接真空室，第二侧适用于连接工厂界面；

在室体内形成的N个垂直层叠的基板转移室，其中N是大于2的整数；和

N-1个内壁，每一个内壁使邻近的基板转移室分离并与周围环境隔离；

2.权利要求1所述的装载锁定室，其中该室体是由一块材料制成。

3.权利要求1所述的装载锁定室，其中至少第一和第二侧中的一侧是由一块材料制成的内壁制成以形成室部件，室部件的第一和第二侧部与其密封连接。

4.权利要求1所述的装载锁定室，其中该室体进一步包括：

多个模块部分，每一部分包括至少一个基板转移室，其中模块部分是垂直层叠的。

5.权利要求1所述的装载锁定室，其中基板转移室具有小于或等于大约1000立方升的内体积。

6.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括多个固定的基板支撑体，这些支撑体适应于保持基板在基板转移室内相对于室体空间分离的位置。

7.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室适应于容纳一个具有平面面积至少为2.7平方米的基板。

8.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

一个冷却板，设置于室体的至少一个内壁、顶部或底部之上或与之形成整体。

9.权利要求8所述的装载锁定室，其中该冷却板进一步包括：

适应于热传递流体由此流过的多个通道。

10.权利要求8所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

多个固定的基板支撑体，适应于保持基板在基板转移室内相对室体空间分离的位置，至少一个基板支撑体通过冷却板设置；及

一个连接冷却板的执行机构，适应于控制冷却板相对于基板支撑体的远端的高度。

11.权利要求10所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

设置于至少一个基板转移室的顶部或底部的加热器。

12.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

设置于至少一个基板转移室的顶部或底部的加热器。

13.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

一个定位机构，设置在至少基板转移室对角内并适应于在基板转移室中将基板水平地定位于预定的位置。

14.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

排气口和抽吸口。

15.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室的抽吸口连接一个单级泵。

16.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室的抽吸口连接各自的泵。

17.权利要求1所述的装载锁定室，其中内壁进一步包括：在第一和第二侧之间有多个转动的凹槽，这些凹槽适应于接受基板转移机器人的至少一部分末端执行器。

18.权利要求13所述的装载锁定室，其中该定位机构进一步包括：

一个延伸通过槽的杆，槽穿过室体形成；

连接到杆的第一末端的两个滚筒，及

连接到杆的执行机构，适应于逆着室体内基板的邻近边缘的方向推动滚筒。

19.权利要求18所述的装载锁定室，其中该定位机构进一步包括：

一个外壳，密封地设置于槽的上方；和密封，便于连接执行机构和杆而室体不会产生真空泄漏。

20.权利要求18所述的装载锁定室，其中该杆枢轴地连接到室体。

21.权利要求1所述的装载锁定室，其中每一个基板转移室进一步包括：

两个宽度大于2000mm的基板进出口。