[发明专利]多元酚化合物和含有该化合物的化学放大型光刻胶组合物

权利要求书

1.一种由式(I)表示的多元酚化合物：

其中，选自R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中的至少一个是由式(II)表示的基团：

其中，X¹、X²、X³和X⁴分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z¹表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，并且环Y表示脂环烃基，

并且，其它的是氢原子。

2.根据权利要求1的多元酚化合物，其中X¹和X²表示氢原子并且n表示0。

3.根据权利要求1的多元酚化合物，其中所述由式(I)表示的多元酚化合物的分子量为730～5000；

4.一种化学放大型光刻胶组合物，其包含由式(I)表示的多元酚化合物：

和产酸剂，    

其中，选自R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中的至少一个是由式(II)表示的基团：

其中，X¹、X²、X³和X⁴分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z¹表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，环Y表示脂环烃基，

并且，其它的是氢原子。

5.根据权利要求4的化学放大型光刻胶组合物，其中所述组合物含有至少两种由式(I)表示的多元酚化合物。

6.根据权利要求4或5的化学放大型光刻胶组合物，其中所述组合物还含有选自由式(III)表示的化合物和由式(V)表示的化合物中的至少一种化合物：

其中，P¹、P²和P³分别独立地表示氢原子、C1～C4烷基、C2～C4烯基、C3～C8环烷基、C6～C12芳基或C7～C12芳烷基。

7.根据权利要求4或5的化学放大型光刻胶组合物，其中所述组合物还含有树脂，所述树脂含有具有酸敏基团的结构单元并且树脂本身不溶或难溶于碱的水溶液但在酸的作用下变得可溶于碱的水溶液。

8.根据权利要求4或5的化学放大型光刻胶组合物，其中所述组合物还含有树脂和选自由式(III)表示的化合物和由式(V)表示的化合物中的至少一种化合物，所述树脂含有具有酸敏基团的结构单元并且树脂本身不溶或难溶于碱的水溶液但在酸的作用下变得可溶于碱的水溶液：

其中，P¹、P²和P³分别独立地表示氢原子、C1～C4烷基、C2～C4烯基、C3～C8环烷基、C6～C12芳基或C7～C12芳烷基。

9.根据权利要求7的化学放大型光刻胶组合物，其中所述含有具有酸敏基团的结构单元且本身不溶或难溶于碱的水溶液但在酸的作用下变得可溶于碱的水溶液的树脂是含有衍生自2-烷基-2-金刚烷基丙烯酸酯、2-烷基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、2-烷基-2-金刚烷基α-氯丙烯酸酯或2-烷基-2-金刚烷基α-三氟甲基丙烯酸酯的结构单元和衍生自羟基苯乙烯的结构单元的树脂。

10.根据权利要求8的化学放大型光刻胶组合物，其中所述含有具有酸敏基团的结构单元且本身不溶或难溶于碱的水溶液但在酸的作用下变得可溶于碱的水溶液的树脂是含有衍生自2-烷基-2-金刚烷基丙烯酸酯、2-烷基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、2-烷基-2-金刚烷基α-氯丙烯酸酯或2-烷基-2-金刚烷基α-三氟甲基丙烯酸酯结构单元和衍生自羟基苯乙烯结构单元的树脂。

11.一种制造由式(I)表示的多元酚化合物的方法：

其中，选自R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中的至少一个是由式(II)表示的基团：

其中，X¹、X²、X³和X⁴分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z¹表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，环Y表示脂环烃基，

并且，其它的是氢原子，

所述方法包括使由式(III)表示的化合物和由式(IV)表示的化合物反应：

其中，X¹、X²、X³、X⁴、n、Z¹和Y限定同上，W表示氯原子、溴原子、碘原子、甲磺酰氧基或对甲苯磺酰氧基。