[发明专利]基板组装装置的输送夹具以及输送方法有效
申请号: | 200710169813.3 | 申请日: | 2007-11-07 |
公开(公告)号: | CN101178500A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 海津拓哉;中山幸德;今泉洁;市村久;伊藤正明 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立工业设备技术 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;H01L21/677;B65G49/06 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 何腾云 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组装 装置 输送 夹具 以及 方法 | ||
1.一种基板组装装置的输送方法,将基板组装装置从装置组装工厂输送到面板制造工厂,其特征在于,在将基板组装装置分割成上腔室组件和下腔室组件两部分、分别搭载在输送车上进行输送时,所述下腔室组件保持其状态进行输送,所述上腔室组件是将上腔室组件的上机架固定在可上下移动的输送夹具上进行输送,并且,也可将所述输送夹具作为装置组装夹具使用。
2.一种基板组装装置的输送夹具,将基板组装装置上下分割成上腔室组件和下腔室组件两部分、用于输送所述上腔室组件,所述输送夹具形成通过螺栓与设置在所述上腔室组件的上机架上的支座连接的结构,形成可使所述上腔室组件上下移动的结构。
3.如权利要求2所述的基板组装装置的输送夹具,其特征在于,所述上腔室组件至少具有上机架、安装在所述上机架上的上腔室、以及设置在所述上腔室内的上工作台。
4.如权利要求2所述的基板组装装置的输送夹具,其特征在于,所述下腔室组件至少具有支架、设置在所述支架上的下腔室、设置在所述下腔室内的下工作台、用于使所述上机架上下移动的上下轴、以及驱动所述上下轴的Z轴驱动装置。
5.如权利要求2所述的基板组装装置的输送夹具,其特征在于,形成如下结构:在设置于所述下腔室组件侧的使上机架上下移动的上下轴和设置在所述上腔室组件侧的所述上机架上的支座之间进行分割。
6.如权利要求2所述的基板组装装置的输送夹具,其特征在于,可利用接头来分离、结合向设置于所述上腔室组件的气动设备配置的配管和向设置于所述上腔室组件的电气设备配置的配线的构成。
7.一种基板组装装置的输送方法,将基板组装装置从装置组装工厂输送到面板制造工厂,其特征在于,在将基板组装装置分割成上腔室组件和下腔室组件两部分、分别搭载在输送车上进行输送时,所述下腔室组件保持其状态进行输送,所述上腔室组件将上腔室组件的上机架的支座固定在作为输送夹具的临时放置支架上,使所述上腔室和上工作台不因振动而移动地保持在所述临时放置支架上。
8.一种基板组装装置的输送夹具,将基板组装装置上下分割成上腔室组件和下腔室组件两部分、用于输送所述上腔室组件,其特征在于,所述输送夹具通过螺栓与设置在所述上腔室组件的上机架上并与下腔室组件的上下轴连接的支座相连接,并且,设置防止所述上腔室和上工作台移动的防振用的保持工具。
9.如权利要求8所述的基板组装装置的输送夹具,其特征在于,在所述支座上安装用于利用吊车进行输送的吊件。
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