[发明专利]基板组装装置的输送夹具以及输送方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用大型的玻璃基板、使液晶滴下并在真空中粘合基板的基板组装装置的输送夹具以及该装置的输送方法。

背景技术

如专利文献1所示，近年来采用利用基板组装装置来制造液晶显示器的方法，该基板组装装置在真空中(真空腔室内)粘合液晶滴在一方上的基板和滤色器等设置在另一方上的基板，促进了液晶显示器的批量生产。在该批量生产中也使用超过2m×2m的玻璃基板。

并且，在设置大型重物的情况下，如专利文献2所示，需要下工夫进行定位等。

专利文献1：日本特开2004-037594号公报

专利文献2：日本特开2003-321195号公报

发明内容

如上所述，随着基板的大型化，粘合基板的基板组装装置也变得大型化，所以，出现了用一辆输送车辆从装置制造工厂输送到面板组装工厂在交通法上也不被允许的状况。

因此，考虑采用以下的方法，即，在装置制造工厂先组装一次装置，进行各种检查后分解成多个零件，再输送到面板工厂、重新进行组装。但是，这种方法具有再组装需要花费大量时间、延迟了面板组装工厂的作业开始时间的问题。

本发明的目的是提供随着装置的大型化、可进行车辆输送且在面板组装工厂不需要那么长的装置组装时间的基板组装装置的输送夹具以及输送方法。

为了实现上述目的，本发明形成以下结构，即，将基板组装装置分割成上腔室组件和下腔室组件的上下两部分，用于输送上述上腔室组件的输送夹具利用螺栓连接在构成上腔室组件的上机架上，可使上腔室组件上下移动。

并且，在工厂方面具有吊车设备的情况下，在构成上腔室组件的上机架上设置吊件、使腔室侧位于下方，在带小脚轮的临时放置台上，将上机架的支座部分固定在临时放置台上，同时，在临时放置台上设置防振用的保持工具来防止上腔室部和上工作台移动。

如本发明所示，将基板组装装置形成分割成上腔室组件和下腔室组件的两部分、可进行输送的结构，尤其是通过使用在保持组装方向的状态下可进行输送的输送夹具来输送上腔室组件，且可将该输送夹具原封不动地用作组装夹具，可缩短组装时间、使装置的运转开始时间提前。

附图说明

图1是基板组装装置的整体结构的概略图。

图2是将基板组装装置分割成两部分的情况下的概略图。

图3是输送基板组装装置后、组装时的前工序图。

图4是输送基板组装装置后、组装时的后工序图。

图5是使用其他输送夹具的情况下的图。

具体实施方式

最近数年来，随着基样玻璃基板的大型化，越来越需要液晶面板的制造装置本身也大型化。最近，玻璃基板超过2m×2m、基板组装装置的重量也达到35tf～40tf，从而不能在组装后输送装置。因此，将进行一次组装、试验后的装置分割成容易输送的状态进行输送。在这种情况下，将装置分解成很小来进行输送虽然容易，但如果将好容易组装成的装置再分解，则装置的调试不仅要花很多时间，而且再组装时发生组装不良的概率加大。因此，在本发明中进行最小限度的分割，将分割后的装置固定在用于输送的夹具上进行输送。以下利用附图、就本发明的一个实施例进行说明。

第一实施例

图1是本发明的基板组装装置的剖视图。

基板组装装置形成将支架1和上机架5作为刚体支撑部件、在其内侧设置上腔室8和下腔室3的结构。并且，通过设置在支架1侧的、构成图2所示的Z轴驱动装置的Z轴驱动电机11来旋转驱动滚珠丝杠12，这样，上下轴10通过设置在上下轴10上的滚珠丝杠支撑部进行伸缩。上机架5的支座5a可利用螺栓固定在该上下轴10的上端部。即，通过使上下轴10沿上下方向移动，上机架5相对于支架1进行上下移动。设置4组以上的该上下轴10。并且，在上机架5上设置用于向粘合的基板的密封部分照射UV光、进行临时固定的光源等。而且，附属在上机架侧的气动设备或电气设备的配线或配管等形成接头结构，可以以单按式进行分割、连接。并且，设置在上机架上的支座5a部同时作为输送时的固定座。