[发明专利]液晶显示面板中的阵列基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种液晶显示面板中的阵列基板及其制造方法，特别涉及能提高存储电容和液晶电容的比值的阵列基板及其制造方法。

背景技术

液晶显示装置(LCD)是一种被动的显示，它本身不能发光，只能使用周围环境的光或背面的光源，它显示图案或字符只需很小能量，正因为低功耗和小型化使LCD成为较佳的显示方式。液晶显示所用的液晶材料是一种兼有液态和固体双重性质的有机物，它的棒状结构在液晶盒内排列，但在电场作用下能改变其排列方向。通常，液晶显示装置(LCD)具有上基板和下基板，彼此有一定间隔和互相正对，形成在两个基板上的多个电极相互正对，液晶夹在上基板和下基饭之间，在两块偏光片之间夹有玻璃基板、彩色滤光片、电极、液晶层和晶体管薄膜，液晶分子是具有折射率及介电常数各向异性的物质。因为液晶材料本身并不发光，所以设有作为光源的灯管，而在液晶显示屏背面有一块背光板(或称匀光板)和反光膜，背光板是由荧光物质组成的可以发射光线，其作用主要是提供均匀的背景光源。背光板发出的光线在穿过第一层偏振过滤层之后进入包含成千上万水晶液滴的液晶层。液晶层中的水晶液滴都被包含在细小的单元格结构中，一个或多个单元格构成屏幕上的一个像素。在玻璃板与液晶材料之间是透明的电极，电极分为行和列，在行与列的交叉点上，通过改变电压而改变液晶的旋光状态，液晶材料的作用类似于一个个小的光阀。在液晶材料周边是控制电路部分和驱动电路部分。当LCD中的电极产生电场时，液晶分子就会产生扭曲，从而将穿越其中的光线进行有规则的折射，然后经过第二层过滤层的过滤在屏幕上显示出来。

如图1所示，现有的液晶显示面板包括第一基板10(也称为阵列基板)，第二基板11(也称为彩色滤光片基板)，一液晶层夹于第一基板10和第二基板11之间，第一基板10和第二基板11通过一框胶贴合。该框胶用于固定第一基板10和第二基板11，并且将液晶和外界隔离。第一基板10上形成有第一金属栅极线、第二金属信号线、源极以及有源层构成控制像素工作的晶体管开关。其中，栅极线为第一金属层图形，信号线和源极为第二金属层图形。第二基板11上通过色层62显示不同的颜色，通过黑色矩阵61阻挡不被利用的光。

在目前的液晶显示面板制造工艺中，采用四次掩模版光刻技术是其中的一种工艺方法，如图2、图3所示，在四次掩模版光刻技术中，首先在第一基板上溅射第一金属层使用第一掩模版制作第一金属层图形--薄膜晶体管的栅电极20、扫描线21、公共电极线22，接着淀积第一绝缘膜30，接着淀积有源层40，溅射第二金属层使用第二掩模版制作第二金属层图形—薄膜晶体管的漏电极50、源电极51和薄膜晶体管沟道，接着淀积第二绝缘膜60，使用第三掩模版制作接触孔70，接着溅射氧化物导电层，其中氧化物导电层由铟锡氧化物或铟锌氧化物组成，利用第四掩模版制作像素电极80。

在此构造的液晶显示器中，在第一基板上，由第一金属层形成的公共电极和氧化物导电层形成的像素电极通过绝缘膜形成了存储电容，而第二基板上的公共电极和第一基板上的像素电极通过液晶层形成液晶电容。在大尺寸液晶显示器的制造过程中，存储电容和液晶电容有一定的比值要求，在高精细，大尺寸化的要求下，存储电容需要增大面积才能满足要求，但是这样像素开口率会受到损失。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种液晶显示面板中的阵列基板及其制造方法，通过该液晶显示面板中的阵列基板及其制造方法提高存储电容和液晶电容的比值的同时不会损失像素开口率。

为达到上述目的，本发明提供一种液晶显示面板中的阵列基板，其实质性特点在于，该阵列基板包括：一玻璃基板；形成于该玻璃基板上的一薄膜晶体管的栅电极、扫描线、公共电极线；形成于该栅电极上的一第一绝缘膜；形成于该第一绝缘膜上的一有源层；形成于该有源层上的一薄膜晶体管的漏电极和源电极；覆盖上述扫描线、公共电极线、薄膜晶体管的漏电极和源电极的一第二绝缘膜；形成于该二绝缘膜上且和该扫描线接触连接的氧化物导电层；形成于该第二绝缘膜上且和该源电极接触连接的像素电极。