[发明专利]图案检查装置

权利要求书

1.一种图案检查装置，可判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路的位置，其特征在于，具备：

供电电极，其与产生有交叉短路的第一导电图案之间保持微小的空间并沿该产生有交叉短路的第一导电图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向产生有交叉短路的第一导电图案施加交流电压；

检查电极，其与供电电极联动，在与产生有交叉短路的第一导电图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案的交流电压的感应；

控制部，其根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化而判定交叉短路的位置。

2.根据权利要求1所述的图案检查装置，其特征在于，

上述供电电极及检查电极，以大致十字状的方式来配置。

3.根据权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，

上述供电电极及检查电极的其中一种电极，设置两个，以夹持另一种电极的方式来配置。

4.根据权利要求2所述的图案检查装置，其特征在于，

供电电极，沿移动方向邻接设置两个；

检查电极，沿通过上述两个供电电极的大致中间位置的线邻接设置两个。

5.根据权利要求1至4任一项所述的图案检查装置，其特征在于，

还具备辅助电极，其设置于供电电极旁边，并与该供电电极联动而移动，并向对向的第一导电图案施加与供电电极所施加的交流电压电平相同、相位相差180°的第二交流电压。