[发明专利]图案检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检查呈多列配置的导电图案的图案检查装置。

背景技术

在液晶面板中，将被称为栅极线及Cs线的导电图案呈多列配置的第一层、以及被称为源极线的导电图案呈多列配置的第二层进行叠加。此时，源极线与栅极线及Cs线交叉配置，在第一层和第二层之间设置有绝缘层，可防止源极线与栅极线及Cs线的电性连接。但是，在制造过程中，在绝缘层上会产生微小的孔，即产生所谓的针孔，这样，源极线与栅极线及Cs线有时会产生电性连接(短路)。在上述不同层之间的导电图案的短路也称为交叉短路，从而导致液晶面板工作不良和故障。另外，在交叉短路以外，也有时会产生邻接的导线图案电性连接的普通短路、以及导线图案在中间断路的缺陷。上述的缺陷在制造过程中需要明确判定并进行修理。

因此，至今为止，有提出过一些用于判定该缺陷的技术。但是，大多数都是将电极直接接触到导电图案而进行检查用信号提供的结构；在所述的结构中，由于物理性的接触电极的导电图案，因此会导致导电图案的损伤以及产生灰尘等问题。

在下述文件1中，公开了利用静电耦合而判定导电图案有无缺陷及其位置的技术。在该专利文件1中，无须使电极接触到导电图案，即可向导电图案提供交流电压，同时检查作为检查对象的导电图案所产生的交流电压。通过上述结构，确实可防止导电图案的损伤以及产生灰尘。

专利文件1：特开2005-24518号公报

发明内容

但是，在该专利文件1中，关于所述的交叉短路的位置判定没有具体的记载，另外，在专利文件1中，断路图案的判定以及判定其断路位置时，检查电极是一个，施加交流电压的供电电极固定在设定的位置。此时，通过检查电极、供电电极与断路位置之间的位置关系，有时不能恰当地检查出断路。

因此，本发明第一目的在于提供一种图案检查装置，其不必使电极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。

另外，本发明的第二目的在于提供一种图案检查装置，其可提高导电图案的检查精度。

解决问题的手段

本发明的图案检查装置，是判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路位置的图案检查装置，其特征在于，具备有：供电电极，其与产生有交叉短路的第一导电图案即交叉图案之间保持微小的空间并沿该交叉图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向交叉图案施加交流电压；检查电极，其与供电电极联动，在与交叉图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案的感应；控制部，其根据检查电极所感应的交流电压值的变化而判定交叉短路的位置。

较理想的情形为，将供电电极沿移动方向邻接设置两个，将检查电极在通过上述两个供电电极大致中间位置的线上邻接设置两个；另一较理想的情形为，还具备有辅助电极，其设置于供电电极旁边，其与该供电电极联动而移动，并向对向的导电图案施加与供电电极所施加的交流电压电平相同、相位相差180°的第二交流电压。

另一种本发明的图案检查装置，是能够检查衬底上呈多列配置的导电图案的状态的图案检查装置，其特征在于，具备有：第一供电电极，其与衬底之间保持微小空间而移动，主要是向对向的导电图案施加第一交流电压；第二供电电极，其与第一供电电极联动而移动，主要是向对向的导电图案施加与第一交流电压相同电平、相位相差180°的第二交流电压；检查电极，其与两个供电电极联动而移动，并对应对向的导电图案感应产生的交流电压值而感应产生相应大小的交流电压；控制部，其根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化而判断导电图案的状态。

较理想的情形为，两个供电电极在导电图案的端部旁边，沿配置方向移动；将检查电极分别在两个供电电极的旁边各设置一个，与该供电电极联动而移动；控制部，根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化，而从多个导电图案中判定产生断路的断路图案。

另一较理想的情形为，在产生有断路的导电图案即断路图案的长度方向上依次配置第一供电电极、检查电极、第二供电电极，并使这三个电极沿所述断路图案移动，控制部根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化，而判定断路图案上产生断路的位置。

另一较理想的情形为，将呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案隔着绝缘层进行叠加时，在第一导电图案的配置方向上依次配置第一供电电极、检查电极、第二供电电极，并使这三个电极沿所述配置方向移动，控制部根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化，而判定与第二导电图案形成短路的第一导电图案即交叉图案。

发明效果