[发明专利]薄板状材料输送装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄板状材料输送装置，用于非接触地输送在液晶显示器(LCD)面板、等离子显示器(PDP)等平板显示器(FPD)中使用的大型且薄的玻璃基板那样的薄板状材料。

背景技术

由于液晶显示器、等离子显示器等平板显示器的玻璃基板即使有很小的瑕疵或灰尘也会对品质产生很大影响，因此，在这种玻璃基板的输送中，要求将玻璃基板保持为接近平面的形状并沿预定的输送面(通行线(pass line))平顺地输送，以便在玻璃基板的表面上不产生瑕疵或者附着异物。

另一方面，液晶显示器用的玻璃基板尺寸越来越大型化，例如在第8代中大小为W2200mm×L2500mm，在第9代中为W2400mm×L2800mm，与此相比厚度为0.5～0.7mm左右、非常薄。因此，在水平地输送玻璃基板时，不仅要支持其外周端部、也要支持其内侧的部分，否则中央部会较大地下垂。

因此，对玻璃基板的输送装置进行研究，以便尽可能在整个面上均等地支持玻璃基板，并保持接近平面的形状地进行输送。作为这种输送装置的一个，已知一种输送装置，使用在上面部形成有多个供气孔的气动台使玻璃基板浮起并通过空气的压力进行驱动，并且非接触地进行输送(例如参照日本特开平10-139160号公报、日本特开平11-268830号公报、日本特开平11-268831号公报)。

并且，已知一种输送装置，在玻璃基板的宽度方向的中央附近设置气动台来抑制玻璃基板的中央部的下垂，并通过多个辊支持与玻璃基板的输送方向垂直的宽度方向的两端附近，并将玻璃基板向规定的输送方向驱动(例如参照日本特开2003-63643号公报、日本特开2005-29359号公报)。

另外，从工厂的清洁空气的设备或具备鼓风机的供气设备通过配管向气动台供给加压的空气。

如此，通过使用非接触地支持玻璃基板的气动台，能够实现难以产生噪音、灰尘和玻璃基板的表面缺损等问题、且部件数量少的输送装置。

本申请人例如通过日本特愿2006-276392号提出了一种薄板状材料输送装置，尽管是非公知的，但提出的薄板状材料输送装置为，沿着玻璃基板的通行线在其长度方向和宽度方向上设置多个气动台，通过从这些气动台的上面供给的空气使玻璃基板浮起，并且相对于在通行线的宽度方向两侧设置的输送辊，通过吸入气流的吸引部来从下方吸引玻璃基板的宽度方向两端，由此，使玻璃基板的宽度方向两端与输送辊接触并进行输送。

如上所述，本申请人提出的薄板状材料输送装置在玻璃基板尺寸为第5～第7代的、不是大型的情况下没有问题，但在第8代或第9代的超大型尺寸的玻璃基板的输送时，存在玻璃基板的通行线的中央部较大地向上方浮起、或下垂的弯曲变得显著的问题。

另一方面，为了提高FDP的生产性，要求进一步提高玻璃基板的输送速度，最近为分速50m。在这样的高速输送下，当玻璃基板保持弯曲进行移动时，受到升力和下降力，产生所谓的漂浮现象(Kite FlyingEffect)，如上所述，在玻璃基板为0.5mm的较薄的情况下，产生成为非常容易破损的状态的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种薄板状材料输送装置及方法，即使在高速输送超大型尺寸的玻璃基板的情况下也能够抑制通行线宽度方向中央部较大地弯曲。

本发明人等发现，通过对来自配置在宽度方向的多个气动台单元中的至少宽度方向中央位置的气动台单元的空气供给量进行调节，能够抑制如上所述的玻璃基板的较大的弯曲。

即，通过以下的各实施例能够解决上述问题。

(1)一种薄板状材料输送装置，其特征在于，将多个气动台单元沿着薄板状材料的通行线方向以及与通行线正交的宽度方向并排设置，上述气动台单元具有：气动台，用于对上述薄板状材料的下面供给气体并非接触地支持该薄板状材料；和用于向该气动台供给上述正压的气体的正压产生装置，上述多个气动台单元中、至少通行线宽度方向中央位置的气动台单元，具有对来自上述正压产生装置的气体的供给量进行调节的供给量控制装置。

(2)根据(1)所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，设有高度传感器，对具备上述供给量控制装置的气动台单元中的至少一部分的上方位置的、输送中的上述薄板状材料距离上述通行线的高度方向的偏移量进行检测，上述供给量控制装置根据上述高度传感器的检测信号调节气体的供给量，以便降低上述高度方向的偏移量。

(3)根据(2)所述的薄板状材料输送装置，其特征在于，将上述高度传感器安装到上述气动台单元的通行线宽度方向的侧面。