[发明专利]喷嘴板、液滴排出头及它们的制造方法以及液滴排出装置

权利要求书

1.一种喷嘴板，其特征在于，具有在第一面上开口的流路、

与所述流路连通的液室以及

与所述液室连通并在第二面上开口的喷嘴孔，

所述液室具有相对于所述第二面大致平行的平坦部，

所述喷嘴孔在所述平坦部与所述液室连通。

2.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述喷嘴孔具有锥形部，

所述液室和所述喷嘴孔通过所述锥形部进行连通。

3.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，

所述喷嘴孔具有在所述平坦部与所述液室连通的第一喷嘴孔部、和与所述第一喷嘴孔部连通并在所述第二面上开口的第二喷嘴孔部。

4.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，从所述平坦部起到所述喷嘴孔的所述第二面上的开口的距离大于等于50μm、小于等于150μm。

5.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，在所述喷嘴孔的直径为1的情况下，所述液室的直径大于等于5、小于等于30。

6.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，在所述喷嘴孔的直径为1的情况下，所述液室的直径大于等于8、小于等于20。

7.如权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，所述平坦部的平面度小于等于10μm。

8.一种喷嘴板的制造方法，其特征在于，

形成在板状体的第一面上开口的液室，

在所述液室的底部形成平坦部，

形成与所述平坦部连通、在所述板状体的第二面上开口的喷嘴孔。

9.如权利要求8所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

所述喷嘴孔的形成包括：形成剖面形状为大致V字形的凹部，利用所述凹部的定中心作用进行钻孔。

10.如权利要求8所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，所述凹部的形成是中心孔加工。

11.一种液滴排出头，其特征在于，具有权利要求1所述的喷嘴板、和向所述液室内的液体施加压力的加压装置。

12.如权利要求11所述的液滴排出头，其特征在于，在所述加压装置上具有挠性膜，所述挠性膜以覆盖所述流路的方式进行设置。

13.如权利要求11所述的液滴排出头，其特征在于，在所述加压装置上设置压电元件。

14.如权利要求13所述的液滴排出头，其特征在于，所述压电元件设置在所述液室的正上方。

15.如权利要求11所述的液滴排出头，其特征在于，在所述加压装置上设置发热元件。

16.如权利要求15所述的液滴排出头，其特征在于，所述发热元件设置在所述液室的正上方。

17.一种液滴排出头的制造方法，其特征在于，利用权利要求8所述的喷嘴板的制造方法形成喷嘴板，

以覆盖所述液室的方式设置加压装置。

18.如权利要求17所述的液滴排出头的制造方法，其特征在于，在所述加压装置上具有压电元件，所述压电元件设置在所述液室的正上方。

19.如权利要求17所述的液滴排出头的制造方法，其特征在于，在所述加压装置上具有发热元件，所述发热元件设置在所述液室的正上方。

20.一种液滴排出装置，其特征在于，

具有权利要求11所述的液滴排出头、

使被处理物和所述液滴排出头的位置相对移动的移动装置以及

收纳液体的液体收纳装置。