[发明专利]喷嘴板、液滴排出头及它们的制造方法以及液滴排出装置

说明书

技术领域

本发明涉及喷嘴板、喷嘴板的制造方法、液滴排出头、液滴排出头的制造方法以及液滴排出装置。

背景技术

在用于制造民用打印机等的记录装置、液晶显示装置和半导体装置等的成膜装置中，已知有利用喷墨法使油墨或膜材料向对象物排出、飞行而进行着色和成膜的技术。

一般将用于该喷墨法的液滴排出头称为“喷墨头”，其包括利用精巧的技术制造的精密零件。尤其是由于排出油墨或膜材料的喷嘴孔部分对击中特性·飞行特性等的基本动作特性的影响很大，因此要求非常高的加工精度。

要求这样精巧且高加工精度的喷嘴孔部分的加工非常困难，其生产效率非常低。

因此，为了容易加工喷嘴孔部分、提高生产效率，提出了如下的技术方案，即，将喷嘴孔部分与液滴排出头的喷嘴本体分开单独形成，在对其分别进行加工后利用粘合剂等形成一体(例如，参照专利文献1)。

但是在这样的粘合技术中，粘合条件和粘合面的管理很难，制造工序缺少稳定性，不能完全防止喷嘴孔位置的偏移或粘合剂溢出等问题。

因此，提出了将喷嘴孔和向喷嘴孔供给油墨的油墨流路设置在一个喷嘴板上的技术方案(参照专利文献2、3)。

但是，在这样的技术中产生了以下新的问题，即，从油墨供给部到喷嘴孔开口部的尺寸，也就是喷嘴的长度尺寸不均匀，这对击中特性·飞行特性等基本动作特性有负面影响。

专利文献1：特开平04-358841号公报

专利文献2：特开2005-96188号公报

专利文献3：特开2005-199430号公报

本发明提供击中特性·飞行特性等动作特性好的喷嘴板、喷嘴板的制造方法、液滴排出头、液滴排出头的制造方法以及液滴排出装置。

发明内容

根据本发明的一个方式，提供一种喷嘴板，其特征在于，具有在表面开口的流路、与上述流路连通的液室以及与上述液室连通并在背面开口的喷嘴孔，上述液室具有相对上述背面大致平行的平坦部，上述喷嘴孔在上述平坦部与上述液室连通。

并且，根据本发明的另一个方式，提供一种喷嘴板的制造方法，其特征在于，形成在板状体的表面开口的液室，并在上述液室的底部形成平坦部，形成与上述平坦部连通、在上述板状体的背面开口的喷嘴孔。

并且，根据本发明的另一个方式，提供一种液滴排出头，其特征在于，具有上述喷嘴板和向上述液室内的液体施加压力的加压装置。

并且，根据本发明的另一个方式，提供一种液滴排出头的制造方法，其特征在于，利用上述喷嘴板的制造方法形成喷嘴板，以覆盖上述流路的方式设置上述加压装置。

并且，根据本发明的另一个方式，提供一种液滴排出装置，其特征在于，具有上述液滴排出头、使被处理物和上述液滴排出头的位置相对移动的移动装置以及收纳液体的液体收纳装置。

根据本发明，可提供击中特性·飞行特性等的动作特性好的喷嘴板、喷嘴板的制造方法、液滴排出头、液滴排出头的制造方法以及液滴排出装置。

附图说明

图1是具有本发明的实施方式的喷嘴板的液滴排出头的模式剖视图。

图2是液滴排出头的模式外观图。

图3是用于说明目前的液室的一端(下方端)附近的模式图。

图4是用于说明喷嘴孔的加工的模式图。

图5是用于说明击中特性的图表。

图6是用于说明喷嘴孔的间距尺寸精度的图表。

图7是表示用于加工喷嘴板的加工装置的示例模式图。

图8是用于说明液滴排出头的制造方法的工序剖视图。

图9是用于说明平坦部的加工状态的照片。

图10是说明通过加热排出液体的热式液滴排出头的构成示例的模式剖视图。

图11是用于说明液滴排出装置的示例的模式图。

图12是用于说明喷嘴孔开口部附近的其他实施例的模式图。

具体实施方式

以下，参照附图就本发明的实施方式进行说明。

图1是具有本发明的实施方式的喷嘴板11的液滴排出头1的模式剖视图。

图2是液滴排出头1的模式外观图。

如图2所示，液滴排出头1是具有多个喷嘴孔12的所谓的多喷嘴式的液滴排出头。并且，图1是图2的A-A方向的扩大剖视图。

在此，液滴排出头1的驱动方式有通过加热产生气泡、利用膜沸腾现象而排出液体的“热式”，和利用压电元件的弯曲变位排出液体的“压电式”，为了便于说明，在此以压电式为例进行说明。