[发明专利]基板清洁装置

权利要求书

1.一种基板清洁装置，包括：

一连接件，其上形成一贯穿孔以及一开口，该贯穿孔贯穿于该连接件，且该开口位于该贯穿孔的径向上，并与该贯穿孔相连通；以及

一磁吸清洁件，其穿设于该贯穿孔之中，且该磁吸清洁件至少部分暴露于该开口处。

2.如权利要求1所述的基板清洁装置，其中该开口的宽度小于该磁吸清洁件的径向上的截面宽度。

3.如权利要求2所述的基板清洁装置，其中该磁吸清洁件为一圆形柱体，其沿该贯穿孔的轴向延伸，并且该开口的宽度小于该圆形柱体的直径。

4.如权利要求2所述的基板清洁装置，其中该磁吸清洁件为一菱形柱体，其沿该贯穿孔的轴向延伸，并且该开口的宽度小于该菱形柱体的对角线长度。

5.如权利要求1所述的基板清洁装置，进一步包括等距离设置的多个连接件，该磁吸清洁件穿过每一所述连接件的所述贯穿孔。

6.如权利要求1所述的基板清洁装置，其中该连接件具有一包围该贯穿孔的内壁，并且该连接件进一步包括一固定组件，该固定组件设置于该内壁上，该磁吸清洁件进一步包括一固定部，该固定部设置于该磁吸清洁件侧壁上对应该固定组件的位置，其中该固定组件用以与该固定部固接，以使该磁吸清洁件与该连接件相互固接。

7.如权利要求6所述的基板清洁装置，其中该固定组件包含一螺丝，该固定部包含一螺丝孔。

8.如权利要求6所述的基板清洁装置，其中该固定组件包含一铆钉，该固定部包含一穿孔。

9.如权利要求1所述的基板清洁装置，其中该连接件进一步包括：

一第一侧；

一第二侧，其与该第一侧相对应，该贯穿孔穿过该第一侧以及该第二侧之间；以及

一第三侧，其相邻于该第一侧以及该第二侧，该开口形成于该第三侧上。

10.权利要求9所述的基板清洁装置，其中该连接件的该第三侧与暴露于该开口处的该磁吸清洁装置的至少一部分位于不同平面上。

11.如权利要求9所述的基板清洁装置，其中该连接件的该第三侧与暴露于该开口的该磁吸清洁装置的至少一部分位于相同平面上。

12.如权利要求1所述的基板清洁装置，其中暴露于该开口处的该磁吸清洁装置的至少一部分凸出于该开口。