[发明专利]基板清洁装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板清洁装置；具体而言，本发明涉及一种供制造基板时所使用的基板清洁装置及使用此基板清洁装置的基板清洁系统。

背景技术

近来，平面显示器被广泛应用在如液晶电视、计算机、移动电话及个人数字助理(Personal Digital Assistant，PDA)上。其中，玻璃基板是平面显示器面板的制造过程中的重要关键材料之一。然而，现行基板制造过程中所应用的基板清洁系统有尚待改进的问题。

请参考图1a，为传统技术所采用的基板清洁系统10的剖面示意图，传统的基板清洁系统10包括基板清洁装置100以及基板承载装置200，基板清洁装置100包括连接件110以及磁吸清洁件130，基板承载装置200上承载玻璃基板700。请参考图1b，为传统的基板清洁装置100的立体示意图。磁吸清洁件130为长形圆柱状的强力磁铁，连接件110的内壁完整包覆磁吸清洁件130的外圆周表面，也就是说，连接件110套接于磁吸清洁件130，以支撑磁吸清洁件130，如图所示。在基板制程中，在清洁以及印刷玻璃基板时，由于传统的基板清洁系统10的磁吸清洁件130被连接件110包覆的部分无法对掉落于玻璃基板上的金属粒子进行吸附，于是磁吸清洁件130的磁吸力无法发挥最大效用，影响基板清洁装置10的效能，导致残余的金属粒子磨损基板表面。另外，由于磁吸清洁件130是一长形柱状结构，即使有连接件110的支撑，在架设时有仍可能产生弯曲(bending)的现象，因而常使套接于磁吸清洁件130的连接件110碰到下方的玻璃基板700，而刮伤玻璃基板700。以上两种情况使得基板的生产合格率无法提升，进而影响平面显示器面板的制造合格率。随着平面显示器的市场范围不断扩大，如何改进玻璃基板的制造工艺以及合格率，也益显重要。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种基板清洁装置，可提升对玻璃基板的清洁效能。

本发明的另一目的在于提供一种基板清洁装置，并应用于基板清洁系统上，可提升玻璃基板的生产合格率。

基板清洁系统包含基板承载装置以及设置其上的基板清洁装置。基板清洁装置用于清洁置于基板承载装置上的玻璃基板。该基板清洁装置包含连接件以及磁吸清洁件。所述连接件包含贯穿孔以及与贯穿孔相连通的开口，磁吸清洁件穿过贯穿孔，且该磁吸清洁件部分暴露于开口处，开口朝下面对基板承载装置的方向形成于连接件上，如此，暴露于开口处的磁吸清洁件的部分可面对基板承载装置上所承载的玻璃基板，而对其上的金属粒子进行吸附。

附图说明

图1a为传统的基板清洁系统的示意图；

图1b为传统的基板清洁装置的示意图；

图2a为基板清洁装置的一实施例示意图；

图2b为连接件的一实施例的示意图；

图2c为基板清洁装置的一实施例的剖面示意图；

图2d为基板清洁装置的另一实施例的剖面示意图；

图2e为基板清洁装置的另一实施例的剖面示意图；

图3为基板清洁装置的一实施例的分解图；

图4为基板清洁装置的另一实施例的示意图；

图5a为基板清洁系统的一实施例的剖面示意图；

图5b为基板清洁系统的另一实施例的剖面示意图。

其中，附图标记说明如下：

10 传统基板清洁系统    110 传统的连接件

130 传统的磁吸清洁件   200、210、230 基板承载装置

231 基板输送装置       300、500 基板清洁装置

310、510 连接件        311 贯穿孔

312 内壁               313 开口

330、530 磁吸清洁件    401 第一侧

402 第二侧             403 第三侧

601 固定组件           603 固定部

700、900 玻璃基板      d 对角线长度

p、p’开口宽度        r 直径

A、B 方向              X 贯穿孔轴向

Y 贯穿孔径向

具体实施方式

本发明提供一种基板清洁装置，其可应用于基板清洁系统。以优选实施例而言，此基板清洁系统供制造玻璃基板时使用，而生产的玻璃基板用于制造平面显示器面板，例如液晶平面显示器面板(LCD)。然而，本发明的基板清洁系统亦可用于生产其它材质及类型的板状产品。