[发明专利]图案形成装置和图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成装置，在基板上形成图案，其特征在于，具有：

喷嘴部，其从多个喷出口向基板上喷出具有光固化特性的图案形成材料；

光照射部，其向喷出到所述基板上的图案形成材料照射照射光；

移动机构，其在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，在沿着所述基板的移动方向上，在先使所述喷嘴部移动的情况下使所述喷嘴部和所述光照射部相对于所述基板而相对且连续地移动，从而在所述基板上形成图案，该图案是指，由在与所述移动方向垂直的方向上以等间距排列的线状的多个图案要素构成的图案；

照射光改变部，其在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，针对所述照射光在所述基板和所述图案形成材料上的大致整个照射区域，或者针对在所述照射区域中沿着与所述移动方向垂直的方向排列设置的多个部分区域，不规则地改变所述照射光在所述图案形成材料上的照度、照度分布或在所述移动方向上的照射范围。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，所述照射光改变部是，在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，不规则地改变配置在所述光照射部和所述基板之间的光路上的掩模的透过率分布的机构。

3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，使所述掩模平行于所述基板移动，从而改变所述光路上的所述掩模的透过率分布。

4.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

来自所述光照射部的所述照射光在所述基板上的照射区域是横跨所述图案形成材料的线状，

所述照射光改变部是，在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，使所述照射区域在所述移动方向上相对于所述多个喷出口进行不规则的微小移动，或者使所述照射区域以与所述基板的法线方向平行的旋转轴为中心进行不规则的微小旋转的机构。

5.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，所述照射光改变部是，在从所述喷嘴部喷出图案形成材料期间，使所述光照射部在所述基板的法线方向上进行不规则的移动的机构。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的图案形成装置，其特征在于，被所述照射光改变部不规则地改变的所述照射光的所述照度的改变幅度为，所述照射区域的空间且时间上的照度平均值的2％以上10％以下。

7.一种图案形成方法，在基板上形成图案，其特征在于，包括：

(a)工序，从喷嘴部的多个喷出口向基板上喷出具有光固化特性的图案形成材料；

(b)工序，从光照射部向喷出到所述基板上的图案形成材料照射照射光；

(c)工序，与所述(a)工序并行，在沿着所述基板的移动方向上，在先使所述喷嘴部移动的情况下使所述喷嘴部和所述光照射部相对于所述基板而相对且连续地移动，从而在所述基板上形成图案，该图案是指，由在与所述移动方向垂直的方向上以等间距排列的线状的多个图案要素构成的图案；

(d)工序，与所述(a)工序并行，针对所述照射光在所述基板和所述图案形成材料上的大致整个照射区域，或者针对在所述照射区域中沿着与所述移动方向垂直的方向排列设置的多个部分区域，不规则地改变所述照射光在所述图案形成材料上的照度、照度分布或在所述移动方向上的照射范围。

8.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于，在所述(d)工序中，不规则地改变配置在所述光照射部和所述基板之间的光路上的掩模的透过率分布。

9.根据权利要求8所述的图案形成方法，其特征在于，使所述掩模平行于所述基板移动，从而改变在所述光路上的所述掩模的透过率分布。

10.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于，

来自所述光照射部的所述照射光在所述基板上的照射区域是横跨所述图案形成材料的线状，

在所述(d)工序中，所述照射区域在所述移动方向上相对于所述多个喷出口进行不规则的微小移动，或者所述照射区域以与所述基板的法线方向平行的旋转轴为中心进行不规则的微小旋转。

11.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于，在所述(d)工序中，所述光照射部在所述基板的法线方向上进行不规则的移动。

12.根据权利要求7～11中任意一项所述的图案形成方法，其特征在于，在所述(d)工序中，不规则地改变的所述照射光的所述照度的改变幅度为，所述照射区域的空间且时间上的照度平均值的2％以上10％以下。