[发明专利]图案形成装置和图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上形成图案的技术。

背景技术

现有技术中，已知在用于等离子显示装置等的平面显示装置的玻璃基板上形成间隔壁的各种方法，例如，在JP特开2002-184303号公报中，提出了这样的间隔壁形成装置：使喷嘴部和光照射部沿基板的主面而相对基板移动，从而在基板上形成间隔壁，其中，该喷嘴部将膏状的间隔壁形成材料喷出到基板上，该光照射部将紫外线照射在基板上已喷出的间隔壁形成材料上。

JP特开平5-335223号公报中，公开了这样的方法：使电子束的照射位置在抗蚀膜上的区域之间移动，同时在各区域内进行主扫描，在抗蚀膜上依次描画多个相同图形时，在多个相同图形上使电子束的照射量随机改变，从而消除在区域的周期中出现的图案尺寸的改变。

另外，虽不是通过连续喷出流动性材料来形成图案的方法，但作为制造液晶等显示装置的彩色滤光器的方法而在JP特开2003-279724号公报中公开了这样的方法，从各喷嘴向玻璃基板随机地撒出相当于多个液滴重量的液滴，从而防止R(红)、G(绿)、B(蓝)三色的不均匀。

但是，通过使具有多个喷出口的喷嘴部相对基板移动，而在基板上形成多个间隔壁的图案，此时，例如由于机械加工时产生的喷出口的加工误差、形成图案的流动性材料中的微粒子成分的分散不均匀导致的润湿性的变化、喷出口附近的一些污染导致的表面特性不同，或由于来自光照射部的光的照度分布(即，照度的不均匀分布)等，使得在与多个喷出口分别对应的多个间隔壁中，宽度发生偏差。实际上，各间隔壁的宽度相对扫描方向大致一定，因多个间隔壁间的宽度的偏差，基板上的间隔壁的图案产生了不均匀(通过目测容易识别出的不均匀性)。

发明内容

本发明面向在基板上形成图案的图案形成装置，目的在于抑制使用喷嘴部在基板上形成的图案的不均匀。

本发明的图案形成装置具有：喷嘴部，其从多个喷出口向基板上喷出具有光固化特性的图案形成材料；光照射部，其向喷出到基板上的图案形成材料照射照射光；移动机构，其在从喷嘴部喷出图案形成材料期间，在沿着基板的移动方向上，在先使喷嘴部移动的情况下使喷嘴部和光照射部相对于基板而相对且连续地移动，从而在基板上形成图案，该图案是指，由在与移动方向垂直的方向上以等间距排列的线状的多个图案要素构成的图案；照射光改变部，其在从喷嘴部喷出图案形成材料期间，针对照射光在基板和图案形成材料上的大致整个照射区域，或者针对在照射区域中沿着与移动方向垂直的方向排列设置的多个部分区域，不规则地改变照射光在图案形成材料上的照度、照度分布或在移动方向上的照射范围。

根据本发明，可以抑制使用喷嘴部在基板上形成的图案的不均匀。

在本发明的一个优选方式中，照射光改变部是，在从喷嘴部喷出图案形成材料期间，不规则地改变配置在光照射部和基板之间的光路上的掩模的透过率分布的机构。更为优选的是，使掩模平行于基板移动，从而改变光路上的掩模的透过率分布。由此，可以使用掩模来容易的不规则改变照射光的照度分布。

在本发明的另一优选方式中，来自光照射部的照射光在基板上的照射区域是横跨图案形成材料的线状，照射光改变部是，在从喷嘴部喷出图案形成材料期间，使照射区域在移动方向上相对于多个喷出口进行不规则的微小移动，或者使照射区域以与基板的法线方向平行的旋转轴为中心进行不规则的微小旋转的机构。由此，可以在移动方向上使照射光的照度范围相对于喷出口而不规则的改变。

在本发明的一个方面中，照射光改变部是，在从喷嘴部喷出图案形成材料期间，使光照射部在基板的法线方向上进行不规则的移动的机构。这样，通过使光照射部相对喷嘴部沿基板的法线方向移动，从而可以容易的不规则改变照射光的照度。

在本发明的另一方面中，被照射光改变部不规则地改变的照射光的照度的改变幅度为，照射区域的空间且时间上的照度平均值的2％以上10％以下。

本发明还面向在基板上形成图案的图案形成方法。

参照附图而通过下述的本发明的详细说明，可而进一步明了上述的目的和其他目的、特征、方式和优点。

附图说明

图1是表示第一实施方式的图案形成装置的结构图。

图2是放大表示喷嘴部和光照射部的前端附近的图。

图3是表示掩模的一部分的图。

图4是表示在基板上形成间隔壁图案的动作的流程图。

图5是表示在基板上形成的间隔壁的俯视图。

图6是表示树脂滤光器的透过率和波长的关系的图。

图7是表示掩模移动机构的另一例的图。

图8是表示掩模的另一例的图。