[发明专利]低温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种低温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于：包括在玻璃表面制备厚度0.02～0.06×10^-6m的Al或Cu作为基层、在此基层上沉积厚度0.03×10^-6m～0.15×10^-6m的Ge-C作为红外增透层、在红外增透层的上面再制备Al-N复合吸收材料层。

2.根据权利要求1所述的低温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于：所述的Al-N复合吸收材料层包括吸收层和减反层。

3.权利要求1所述的低温太阳能选择性吸收涂层的一种制备方法，其特征在于：采用Al作为基层时，利用两靶磁控溅射技术，在一个溅射真空室中安装了Ge和Al两只靶电极，两靶之间有隔离屏，1、首先制作Al基层，在纯氩气环境下，在玻璃管外壁沉积一层Al基层；2、然后通过通气管通入CO或C₂H₂气体，C和Ge沉积在Al基层上形成Ge-C红外增透层；3、然后停止通CO或C₂H₂，再通入N₂并逐渐改变N₂流量，在红外增透层上形成Al-N复合吸收材料层。