[发明专利]扫描装置及扫描型光学装置

说明书

技术领域

本发明，涉及扫描装置及扫描型光学装置。

背景技术

近年来，提出了一种使激光等束状的光在被投影面上进行光栅扫描而对图像进行显示的扫描型图像显示装置。在该装置中，因为通过使激光的供给停止而能够显示完全的黑色，所以相比较于采用了例如液晶光阀的投影机等，可以进行高对比度的显示。并且，因为使用了激光的图像显示装置，因为激光为单一波长而色纯度高，因为相干性高而容易对光束进行整形(容易改变光阑)等等，由于具有这样的特性，所以期待作为实现高分辨率、高色再现性的高像质显示器。并且，因为扫描型图像显示装置，与液晶显示器、等离子体显示器等不同，不具有固定的像素，所以没有所谓像素数的概念，从而还具有容易对分辨率进行变换的优点。

为了利用扫描型图像显示装置生成图像，必需采用多面镜、电流镜等的扫描器使光进行2维扫描。虽然也有使1个扫描器反复摆动于水平方向、垂直方向这2个方向而使光进行2维扫描的方法，但是在该情况下，存在扫描系统的构成、控制变得复杂的问题。因此，提出了一种扫描型图像显示装置，其中，准备使光进行1维扫描的2组扫描器，使它们分别承担水平扫描与垂直扫描。以往以来，一般在双方的扫描器中全都使用多面镜或电流镜，下述的专利文献1中公开了在双方的扫描器中采用了旋转多面镜(多面镜)的投影装置。

【专利文献1】日本特开平1-245780号公报

可是，虽然在专利文献1中介绍了采用了多面镜的装置，但是伴随于图像格式的高分辨率化，扫描频率也变高，多面镜、电流镜逐渐逼近极限。因此，近年来，发表了在高速侧的扫描器中利用了MEMS(Micro ElectroMechanical Systems，微机电系统)技术的系统。所谓利用了MEMS技术的扫描器(以下，简称为MEMS扫描器)，是指采用硅等半导体材料的精细加工技术而进行制作，对被扭簧等支撑的镜体借助静电力等进行驱动。该扫描器，能够借助静电力与弹簧的复原力的相互作用而使镜体进行往复运动，使光进行扫描。通过采用MEMS扫描器，能够实现相比较于现有的扫描器频率高、偏角大的扫描器。由此，可以对高分辨率的图像进行显示。

可是，为了实现高速的MEMS扫描器必须使镜体在谐振点进行往复运动，所以若考虑光利用效率等，则成为在扫描线从观看者看从左向右扫描之后、下一扫描线从右向左进行扫描(双侧扫描)的系统。

另一方面，图像信号因为以CRT(Cathode Ray Tube，阴极射线管)为基础而确定标准，所以成为与在从左向右进行了扫描之后以短时间返回到左、再次向右进行扫描(单侧扫描)相符的格式。从而，在MEMS扫描器的情况下，一部分数据必须对所输入的信号的顺序进行反转而进行显示，所以信号的控制变得复杂。

于是，作为MEMS扫描器以外的扫描单元，考虑电光(EO：ElectroOptic，电光)扫描器。所谓EO扫描器，为通过在EO晶体加以电压、改变对该晶体进行透射的光的行进方向的元件。这样在EO扫描器中，因为能够通过电压对扫描角进行控制，所以与CRT同样地可以进行利用单侧扫描的描绘。

并且，所谓EO扫描器，是指EO晶体被一对电极所夹持，通过在该电极施加电压而注入电子、在电子的分布中产生偏倚。因此，根据克尔效应，折射率变化也产生分布，所入射的光向折射率高侧弯曲，所以可以进行光的扫描。并且，因为EO晶体内部的折射率分布的梯度，与电子注入量、即施加电压有关，所以通过使施加电压进行变化，能够对从EO晶体所射出的光的扫描角度进行控制。

但是，在通过EO扫描器使光进行扫描的情况下，因为EO晶体内部的电子分布产生偏倚，所以由于电压的施加方式，在EO晶体的内部电子持续偏倚。这样，若在EO晶体的内部电子持续偏向，则会发生电极的导通击穿等的不良状况，存在可靠性降低的问题。

发明内容

本发明，为了解决上述的问题所作出，目的在于提供可以使可靠性提高的扫描装置及扫描型光学装置。

为了达到上述目的，本发明提供以下的方案。

本发明的扫描装置，其特征在于，具备：光学元件，其通过折射率分布相应于在内部产生的电场的大小进行变化而使所入射的激光进行扫描；第1电极及第2电极，其分别配置于该光学元件的相对向的2个面；和控制部，其对施加于前述第1电极及前述第2电极之中的至少一方的电压进行控制，使得在前述光学元件中前述电场的方向时间性地在一个方向和与该一个方向相反的另一方向上产生。