[发明专利]将涂层涂敷到衬底的方法

权利要求书

1.一种将涂层涂敷到衬底的方法，通过该方法，喷嘴喷射液体介质到位于工作台上的衬底上，所述喷嘴被连接至喷嘴夹持器的喷嘴定位器支撑，所述喷嘴夹持器能够相对于工作台在前后方向上移动，所述方法的特征在于以下操作程序：

首先安装距离传感器，所述距离传感器作为测量形成在所述衬底上的介质层表面和所述喷嘴之间的距离的装置；

将测试衬底放置在所述工作台上，并且在所述喷嘴夹持器相对于所述工作台向前移动期间通过从所述喷嘴喷出的液体介质对测试衬底进行测试性涂层；

在所述喷嘴夹持器相对于所述工作台向后移动期间，通过所述距离传感器执行测量操作；

根据所述距离传感器执行的所述测量操作的结果启动喷嘴定位器，所述喷嘴定位器作为设定形成预期涂层的所述喷嘴的位置的装置；以及

将液体介质涂敷到衬底上。

2.根据权利要求1所述的将涂层涂敷到衬底的方法，其中，所述喷嘴定位器是根据从其获得的加压值、通过由所述喷嘴夹持器施加的反作用力使所述喷嘴升高或降低的加压机构。