[发明专利]有源元件阵列基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种显示面板及其制造方法，且特别涉及一种有源元件阵列基板及其制造方法。

背景技术

随着科技进步，液晶显示器(liquid crystal display，LCD)及等离子显示器(plasma display panel，PDP)等平板显示器(flat panel display)已渐渐取代早期的阴极射线管显示器(cathode ray tube，CRT)而成为显示器商品的主流。现今的平板显示器商品大多以液晶显示器为主，而目前液晶显示器以薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)最为普遍。一般的彩色薄膜晶体管液晶显示器的液晶显示面板主要是由薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光基板和液晶层所构成。

图1为已知的薄膜晶体管的有源元件阵列基板的剖面示意图。请参照图1，已知的有源元件阵列基板100包括基板110、多个栅极120a、多个第一焊盘120b、栅极绝缘层130、多个沟道层140、多个源极150、多个漏极152、保护层160以及透明导电层170。

上述栅极120a和第一焊盘120b乃由第一导电层120图案化而成。栅极绝缘层130覆盖于栅极120a及第一焊盘120b之上，且栅极绝缘层130位于沟道层140与栅极120a之间，而沟道层140位于栅极120a的上方。源极150及漏极152分别覆盖于沟道层140的两侧。上述栅极120a、栅极绝缘层130、沟道层140、源极150以及漏极152构成薄膜晶体管101。保护层160覆盖住栅极绝缘层130、沟道层140、源极150以及漏极152。保护层160具有接触窗164，以暴露出部分漏极152。栅极绝缘层130与保护层160具有接触窗162，以暴露出部分第一焊盘120b。透明导电层170可分为经由接触窗164与漏极152电连接的像素电极170a，以及经由接触窗162与第一焊盘120b电连接的透明焊盘170b。

第一焊盘120b通常位于扫描线的末端，且其也称为扫描焊盘，并靠近显示面板的边缘。第一焊盘120b经由透明焊盘170b以及异方性导电膜(ACF)与用以驱动面板的集成电路(IC)电连接。一般而言，第一导电层的材质为铝，而透明导电层170的材质为铟锡氧化物(ITO)。因为铝与ITO之间的介面阻值较高，所以第一焊盘120b与透明焊盘170b之间便有阻值较高的问题。因此，此有源元件阵列基板100常会有电气特性差、电能消耗高、产品可靠度低落以及使用寿命短等问题。前述问题虽可通过在铝上沉积一层钼或钛等金属加以克服，但由于钼或钛的价格较铝昂贵，所以这种多层的第一焊盘会增加制造成本。再者，因第一焊盘120b上仍存在栅极绝缘层130和保护层160使得透明导电层170b形成于此时，易受此高度落差的存在而可能使得透明导电层170b会产生裂缝于此接触窗162内，造成信号传递品质不佳。

发明内容

本发明提供一种有源元件阵列基板，其能够解决焊盘和第一图案化导电层直接接触所造成的介面阻值过大的问题。

本发明提供一种有源元件阵列基板，其能够解决焊盘于接触窗中产生裂缝而所造成造成信号传递品质不佳的问题。

本发明另提供一种有源元件阵列基板的制造方法，其可在不大幅修改现有工艺的情况下，解决焊盘和第一图案化导电层直接接触所造成的介面阻值过大的问题。

本发明又提供一种有源元件阵列基板及其制造方法，其可以解决焊盘连接两导电层所造成的焊盘阻值过大的问题。

本发明再提供一种有源元件阵列基板的制造方法，其可在不大幅修改现有工艺的情况下，解决焊盘连接两导电层所造成的焊盘阻值过大的问题。