[发明专利]气体集成单元

权利要求书

1.一种气体集成单元，其特征在于，设有：

第一气体单元，控制第一气体的供给；

第二气体单元，与所述第一气体单元连接，通过多个流体控制部件控制汇合到所述第一气体单元的第二气体；和

层叠块，叠置在所述第一气体单元上，

并且，将所述流体控制部件的一部分叠置在所述层叠块上。

2.如权利要求1所述的气体集成单元，其特征在于，所述层叠块以覆盖所述第一气体单元中所包含的配管的方式设置。

3.如权利要求1所述的气体集成单元，其特征在于，所述层叠块，具有用于固定载置有所述流体控制部件的一部分的下部流路块的固定部、和与所述第一气体单元抵接的保持槽，并安装有加热器。

4.如权利要求1所述的气体集成单元，其特征在于，所述流体控制部件的一部分是质量流量控制器或者质量流量计。