[发明专利]基板处理装置的控制装置、控制方法和存储有控制程序的存储介质

权利要求书

1.一种控制装置，对基板处理装置进行控制，该基板处理装置包括对基板进行规定处理的多个处理室和搬送所述基板的搬送机构，其特征在于，包括：

选择部，选择接下来应该搬送到的处理室，并且根据每批次所要求的微细加工的程度，针对每个批次选择使搬送到同一处理室的基板的单位为1批次单位或者1基板单位中的任一个；和

搬送控制部，将由所述选择部选择的单位中包含的基板依次搬送到由所述选择部选择的处理室中。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于：

所述存储部存储所述多个处理室中在基板的处理中使用过的处理室的顺序，

所述选择部根据所述存储部中存储的处理室的顺序，选择由方案指定的处理室组中最早实施过处理的处理室，

所述搬送部将所述被选择的单位中包含的基板依次搬送到所述被选择的处理室。

3.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于：

所述存储部针对每个处理室存储在对各处理室进行清理之前在各处理室中处理过的基板的总处理块数，

所述选择部根据所述存储部中存储的基板的总处理块数，选择由方案指定的处理室组中处理块数最少的处理室，

所述搬送部将所述被选择的单位中包含的基板依次搬送到所述被选择的处理室。

4.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于：

所述存储部针对每个处理室存储在对各处理室进行清理之前在各处理室中处理过的基板的总处理时间，

所述选择部根据所述存储部中存储的基板的总处理时间，选择由方案指定的处理室组中处理时间最短的处理室，

所述搬送部将所述被选择的单位中包含的基板依次搬送到所述被选择的处理室。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的控制装置，其特征在于：

当由所述选择部选择1批次单位时，所述搬送控制部将所述批次中包含的全部基板依次搬送到所述被选择的处理室，当由所述选择部选择1基板单位时，所述搬送控制部将所述批次中包含的最初的基板搬送到选自由方案指定的处理室组中最早实施过处理的处理室、处理块数最少的处理室或处理时间最短的处理室中的任一个处理室，将同批次中包含的下一个基板搬送到下一个处理室，重复该操作直到同批次中包含的最后的基板。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的控制装置，其特征在于：

当由所述选择部选择1批次单位时，所述搬送控制部在搬送制品用基板之前，仅向所述被选择的处理室中搬送试用基板。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的控制装置，其特征在于：

当由所述选择部选择1基板单位时，所述搬送控制部在搬送制品用基板之前，仅向由方案指定的处理室组的各处理室中搬送试用基板。

8.一种基板处理装置的控制方法，对基板处理装置进行控制，该基板处理装置包括对基板进行规定处理的多个处理室和搬送所述基板的搬送机构，其特征在于：

选择接下来应该搬送到的处理室，并且根据每批次所要求的微细加工的程度，从1批次单位或者1基板单位中的任一个选择搬送到同一处理室的基板的单位；

将所述被选择的单位中包含的基板依次搬送到所述被选择的处理室。

9.一种存储介质，存储有基板处理装置的控制程序，该基板处理装置包括对基板进行规定处理的多个处理室和搬送所述基板的搬送机构，该控制程序使计算机执行所述基板处理装置的控制，其特征在于，所述控制程序使计算机执行以下处理：

选择接下来应该搬送到的处理室，并且根据每批次所要求的微细加工的程度，从1批次单位或者1基板单位中的任一个选择搬送到同一处理室的基板的单位的处理；和

将所述被选择的单位中包含的基板依次搬送到所述被选择的处理室的处理。