[发明专利]电子器件的制造方法及适合于该制造方法的涂布液

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光元件(以下，酌情称为“有机EL元件”)等电子器件的制造方法及适合于该制造方法的涂布液，上述有机电致发光元件是用作有机薄膜太阳能电池、晶体管元件、显示器用显示元件及照明元件的自发光型元件。

背景技术

作为电子器件的制造方法，为了达到低成本化、大面积化及挠性化，人们正在积极开展对使用各种涂布法的制造方法的研究。但是，使用涂布法的条件是基底不能溶于所涂布的溶剂。

例如，对于晶体管元件来说，在涂布有机半导体层后施加保护膜时，如果采用涂布法进行层叠，则必须防止基底膜(有机半导体层)溶于所涂布的溶剂中。

另外，对于有机薄膜太阳能电池来说，在通过涂布法层叠p型有机半导体和n型有机半导体、在p-n结中导入p型有机半导体和n型有机半导体的混合层等情况下，在有机半导体材料进行相同或不同材料的层叠等情况下，防止基底膜溶于所涂布的溶剂或者对层叠时的界面进行控制等是必须的。

以下，以有机EL元件作为具体例子进行说明。

自从Tang和VanSlyke进行报导以来(非专利文献1)，人们积极开展了对涉及有机EL元件的研究开发。通常，有机EL元件分为低分子类有机物和高分子类有机物两种。低分子类有机物的制膜方法通常采用真空蒸镀。通过采用真空蒸镀，可以容易得到具有独立功能的有机层的层叠结构，可以制作高性能的有机EL元件。目前，已达到了可合成在有机EL元件上显示优异性能的低分子类有机物并可进行实用的水平。但是，由于蒸镀法是在真空中制膜，所以很难大面积化，材料的利用效率还不足。

与其相比，对于高分子类有机物来说，其制造方法可以采用各种涂布法。作为各种涂布法，可以列举浇铸法、旋涂法、喷射法、浸渍法、喷涂法、印刷法。这些方法均可以在大气压下制膜，比蒸镀法更容易实现大面积化。另外，材料的利用率也高，因此在成本上是有利的。

但是，当使用层叠结构来谋求提高性能时，作为后来涂布的涂布液的溶剂，必须选择不溶解基底有机层的溶剂，存在着可选用的材料受到限制等局限性，不容易制作层叠结构。

作为层叠有机物的技术，已知有通过交联进行不溶解化处理从而进行层叠的技术(例如，参见专利文献1)。但是，该技术存在以下局限性，即，有时制造工艺复杂或需要引入交联基团等。

另外，也常常采用以下技术，即，将属于水分散类高分子系有机物的PEDOT/PSS作为空穴注入材料，使用高分子类有机物、利用涂布法层叠在发光层材料上的技术。但是，在水性体系情况下，各种离子性杂质可能会对有机EL元件的可靠性造成不良影响。另外，据报导，由于PEDOT上会扩散出S或SO₃基团，而导致发光效率下降(非专利文献2)。

近年来，人们正在进行使低分子类有机物应用于涂布法的研究，但是在制作层叠结构时，与高分子类有机物一样，后来涂布的涂布液的溶剂会溶解基底有机层，不容易制作层叠结构。

[专利文献1]日本特开2000-077185号公报

[非专利文献1]C.W.Tang and S.A.VanSlyke：Appl.Phys.Lett.，51，p.913(1987)

[非专利文献2]“有機ELハンドブツク”，リアライズ理エセンタ一发行，2004年，p.260

发明内容

本发明的课题是提供对低分子类有机物及高分子类有机物等所有有机物均有效，可以通过涂布法使用这些有机物形成层叠结构的电子器件的制造方法及适合于该制造方法的涂布液。例如，提供有机EL元件的制造方法及适合于该制造方法的涂布液。

为了解决上述课题，本发明人反复进行了深入研究，从而完成了本发明。本发明的特征在于对被层叠的层赋予耐有机溶剂性。

即，第1方案的发明是层叠有至少两层以上含有有机物的层的电子器件的制造方法，其特征在于使用含有有机物及金属和/或金属氧化物的涂布液A形成第一层(混合层)，然后使用含有有机物的涂布液B来层叠第二层。

另外，第2方案的发明是第1方案所述的电子器件的制造方法，其特征在于，上述电子器件，在一对电极之间至少层叠有两层以上的含有有机物的层；该制造方法包括在上述一对电极的一方电极上直接或通过介有其它层涂布含有有机物及金属和/或金属氧化物的涂布液A，从而制膜形成第一层(混合层)的第一工序，和在通过该第一工序制膜形成的混合层上直接涂布含有有机物的涂布液B，从而制成形成第二层的有机层的第二工序。