[发明专利]基板移载机及其基板收纳匣

权利要求书

1.一种基板收纳匣，其特征在于，包含有：

一框架，其内部设置有一承载盘，而且该框架具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边；及

多个滚轮，设置于该承载盘上，而且该滚轮由该取出口朝向该抵靠边沿一水平线排列，其中该滚轮具有一公切线，该公切线由该取出口朝该抵靠边倾斜并与该水平线之间具有一夹角。

2.根据权利要求1所述的基板收纳匣，其特征在于，该公切线及该水平线之间的夹角为3至5度。

3.根据权利要求1所述的基板收纳匣，其特征在于，各该滚轮的下半部分位于该承载盘的一上表面下方，且各该滚轮的上半部分突出于该承载盘的上表面。

4.根据权利要求3所述的基板收纳匣，其特征在于，各该滚轮的上半部分的高度介于5mm至10mm。

5.根据权利要求1所述的基板收纳匣，其特征在于，相邻二个各该滚轮的间隔距离介于50mm至100mm。

6.一种基板移载机，其特征在于，包含：

一基板收纳匣，具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边，该基板收纳匣内设有多个滚轮，该滚轮具有一公切线，该公切线由该取出口朝向该抵靠边延伸且向下倾斜；及

一取出装置，设置于该基板收纳匣的一侧。

7.根据权利要求6所述的基板移载机，其特征在于，该取出装置具有：

一移动盘；及

一手臂，设置于该移动盘上。

8.根据权利要求7所述的基板移载机，其特征在于，该手臂具有一吸盘，且该吸盘设置于该手臂端部的底面上。

9.根据权利要求7所述的基板移载机，其特征在于，该手臂具有一夹爪，且该夹爪设置于该手臂的端部上。

10.一种基板移载机，适用于收纳或传送多个基板，其特征在于，包含：

多个沿一纵轴方向层迭的基板收纳匣，各该基板收纳匣分别具有一取出口及一相对于该取出口的抵靠边，且各该基板收纳匣内设有多个滚轮，该滚轮承载该些基板的其中之一，该滚轮具有一公切线，由该取出口朝向该抵靠边延伸且向下倾斜，以导引该基板朝向该抵靠边滑动；及

一取出装置，位于该些基板收纳匣的一侧，且面对于各该取出口，并可沿该纵轴方向上下移动，以选择性地对应于该基板收纳匣其中之一，以分别通过各该基板收纳匣的该取出口取出该基板，或是将该基板放置于该滚轮上。

11.根据权利要求10所述的基板移载机，其特征在于，该取出装置具有：

一移动盘；及

一手臂，设置于该移动盘上，用以移动该基板于该收纳匣及该移动盘间。

12.根据权利要求11所述的基板移载机，其特征在于，该手臂具有一吸盘，且该吸盘设置于该手臂端部的底面上。

13.根据权利要求11所述的基板移载机，其特征在于，该手臂具有一夹爪，且该夹爪设置于该手臂的端部上。