[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 200710200167.2 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101240410A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1. 一种溅镀装置，其包括一个腔体、一个承载部及至少一个靶体，所述腔体内形成有一个溅镀腔，所述承载部及所述至少一个靶体设于溅镀腔内，其特征在于，所述承载部包括一个转盘及多个穿设于所述转盘的转柱，所述转柱用于悬挂待镀工件并随所述转盘一起转动且能够沿转柱自身中心轴转动。
2. 如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述多个转柱沿一圆环对称设置。
3. 如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述承载部还包括一个固定座，所述固定座固定于腔体底部，其包括一个座体及一个固定于所述座体上的齿轮部，所述转盘位于固定座上方并通过一贯穿固定座的转轴驱动转动，所述多个转柱底端具有齿状结构与所述固定座的齿轮部啮合。
4. 如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于，所述多个转柱底端与所述固定座的座体抵接。
5. 如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于，所述固定座的座体与齿轮部为一体结构。
6. 如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述承载部还包括一个固定座，所述固定座固定于腔体底部，其包括一个齿轮部，所述转盘位于固定座上方并通过一贯穿固定座的转轴驱动转动，所述多个转柱底端具有齿状结构与所述固定座的齿轮部啮合。
7. 如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于，所述多个转柱底端与所述腔体底部抵接。
8. 如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述腔体具有一个进气口与所述溅镀腔连通，所述进气口与多个进气管连通，用于通入多种气体。
9. 如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述腔体具有一个抽气口与所述溅镀腔连通。
10. 如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述至少一个靶体中心均设置有多个磁电管。
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