[发明专利]真空干燥机及干燥方法

权利要求书

1.一种真空干燥机，包括干燥腔，其特征在于该真空干燥机还包括：

装载腔及卸载腔，所述装载腔及卸载腔分别与所述干燥腔相连通；

隔离阀门，其分别位于装载腔与干燥腔之间以及卸载腔与干燥腔之间，将装载腔与干燥腔以及卸载腔与干燥腔隔离；

取料装置，其可旋转的设置于干燥腔内；以及

抽气装置，其分别与所述装载腔、卸载腔及干燥腔相连通，用于分别独立地对装载腔、卸载腔及干燥腔抽真空。

2.如权利要求1所述的真空干燥机，其特征在于，所述装载腔及卸载腔均匀分布在干燥腔的周围。

3.如权利要求1所述的真空干燥机，其特征在于，所述取料装置为伸缩式机械手臂。

4.如权利要求1所述的真空干燥机，其特征在于，所述抽气装置包括多个真空泵。

5.如权利要求4所述的真空干燥机，其特征在于，所述真空泵是水环真空泵、罗茨真空泵、油封式真空泵或无油干式机械真空泵。

6.一种利用如权利要求1所述真空干燥机的干燥方法，其包括步骤：

(a).抽气装置对干燥腔抽真空至一第一真空状态；

(b).将待干燥的元件装载在装载腔中，抽气装置对装载腔及卸载腔抽气减压至一第二真空状态；

(c).开启装载腔与干燥腔之间的隔离阀门，取料装置将装载腔中的元件携取至干燥腔；

(d).关闭装载腔与干燥腔之间的隔离阀门，对装载腔破真空，然后将另一待干燥的元件装载在装载腔中，抽气装置再对装载腔抽气减压至第二真空状态；

(e).开启卸载腔与干燥腔之间的隔离阀门，取料装置将干燥腔中的元件携取至卸载腔；

(f).关闭卸载腔与干燥腔之间的隔离阀门，对卸载腔破真空并取出干燥完毕的元件，抽气  置再对卸载腔抽气减压至第二真空状态。

7.如权利要求6所述的干燥方法，其特征在于，所述第二真空状态的真空度小 于或等于第一真空状态的真空度。

8.如权利要求6所述的干燥方法，其特征在于，所述第二真空状态的真空度大于第一真空状态的真空度。