[发明专利]一种用于溅镀式镀膜机台的承载台

权利要求书

1.一种用于溅镀式镀膜机台的承载台，其包括：

一第一载具，该第一载具包括一承载部及与其相对的底部，该承载部延伸出至少一个突起，所述突起具有与待镀元件相配合的形状，用于承载待镀元件，并将待镀元件的热量传递至第一载具的底部；

一中空的第二载具，该第二载具与该第一载具的底部紧密结合，用于吸收该第一载具的底部传递的热量。

2.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具所用材料选自：铜、铝、铁、镍、钛、钢、碳钢、不锈钢，或铜、铝、铁、镍、钛之中至少两种金属的合金。

3.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具和第二载具均为平板形结构。

4.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具的至少一个突起，为圆柱形结构。

5.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第一载具的至少一个突起为多个，其均匀排布于该第一载具上。

6.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该中空的第二载具内收容有冷却流体，该冷却流体为纯水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液体。

7.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该中空的第二载具内收容有冷却流体，该冷却流体中具有导热粒子，其成份为碳纳米管、碳纳米球、铜纳米粉或以上至少两种成分组合的粒子。

8.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第二载具设有冷却流体入口和冷却流体出口。

9.如权利要求1所述的用于溅镀式镀膜机台的承载台，其特征在于：该第二载具的结构为非一体结构，由至少两个热管构成。